区域表面结构非接触测量与特征评定方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-23页 |
| ·课题研究的意义 | 第9-10页 |
| ·区域表面结构测量方法分析 | 第10-16页 |
| ·区域表面结构评定方法分析 | 第16-21页 |
| ·本文的主要研究工作、创新及课题来源 | 第21-23页 |
| 2 区域表面结构测量与评定的基本概念 | 第23-32页 |
| ·几何特征的基本概念 | 第23-24页 |
| ·表面结构的特征表征 | 第24-28页 |
| ·特征表征的命名参数 | 第28页 |
| ·区域表面结构非接触测量方法 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 区域表面结构非接触测量方法的研究 | 第32-81页 |
| ·复合光学显微系统 | 第32-34页 |
| ·区域表面结构非接触测量原理 | 第34-40页 |
| ·二维光学显微图像测量影响因素分析 | 第40-57页 |
| ·三维光学显微干涉测量影响因素分析 | 第57-73页 |
| ·基于精密定位的子孔径无缝拼接测量 | 第73-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 4 区域表面结构非接触测量系统的研制 | 第81-93页 |
| ·测量系统的总体设计 | 第81-84页 |
| ·光学成像与图像采集系统 | 第84-86页 |
| ·三维精密位移系统 | 第86-91页 |
| ·计算机处理系统 | 第91-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 5 三维精密位移系统的设计与分析 | 第93-115页 |
| ·三维精密位移系统结构设计 | 第93-96页 |
| ·压电陶瓷微位移器 | 第96-99页 |
| ·计量系统原理与实验测试 | 第99-104页 |
| ·精密位移系统特性分析与性能测试 | 第104-110页 |
| ·位移系统的定位方法与定位策略 | 第110-113页 |
| ·本章小结 | 第113-115页 |
| 6 表面结构特征的Motif评定 | 第115-132页 |
| ·表面结构特征分析的作用 | 第115-116页 |
| ·表面结构的Motif评定方法 | 第116-118页 |
| ·表面结构的描述与分割 | 第118-124页 |
| ·表面结构分割区域的合并 | 第124-128页 |
| ·3D-Motif评定方法扩展 | 第128-131页 |
| ·本章小结 | 第131-132页 |
| 7 实验与应用 | 第132-138页 |
| ·二维图像测量检定 | 第132-133页 |
| ·三维图像测量检定 | 第133-135页 |
| ·应用 | 第135-137页 |
| ·本章小结 | 第137-138页 |
| 8 总结与展望 | 第138-140页 |
| ·全文总结 | 第138页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第138-140页 |
| 致谢 | 第140-141页 |
| 参考文献 | 第141-150页 |
| 附录1 攻读博士学位期间科研成果目录 | 第150-151页 |
| 附录2 网上检索EI收录发表文章 | 第151-152页 |
| 附录3 科技查新报告 | 第152-154页 |
