二维光子晶体波导的延时特性
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·研究背景 | 第9-14页 |
| ·光学真延时简介 | 第9-11页 |
| ·光子晶体简介 | 第11-12页 |
| ·光子晶体慢光波导研究现状 | 第12-14页 |
| ·光子晶体慢光波导延时应用的若干关键问题分析 | 第14-15页 |
| ·主要研究内容和成果 | 第15-16页 |
| 第2章 光子晶体波导延时特性的理论分析 | 第16-29页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·光子晶体波导的模式特性概述 | 第16-19页 |
| ·光子晶体波导的慢光特性 | 第19-22页 |
| ·光子晶体波导的延时特性分析 | 第22-25页 |
| ·有源光子晶体波导的增益补偿特性 | 第25-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 SOI 光子晶体波导的制备工艺 | 第29-41页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·制备工艺流程 | 第29-32页 |
| ·ICP 刻蚀工艺 | 第32-37页 |
| ·硅材料 ICP 刻蚀概述 | 第32-33页 |
| ·刻蚀实验总结 | 第33-35页 |
| ·刻蚀参数优化 | 第35-37页 |
| ·空气桥工艺 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 光子晶体波导延时特性的实验研究 | 第41-51页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·透射谱测量 | 第41-46页 |
| ·测试方法 | 第42页 |
| ·结构参数对透射谱的影响 | 第42-44页 |
| ·波导长度对透射谱的影响 | 第44-46页 |
| ·延时测量 | 第46-50页 |
| ·测试系统 | 第46-47页 |
| ·测试结果 | 第47-48页 |
| ·限制延时量的原因分析 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 结论 | 第51-53页 |
| ·研究工作总结 | 第51-52页 |
| ·进一步工作建议与展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 附录 A 有源光子晶体的能带计算 | 第60-64页 |
| 附录 B SOI 光子晶体波导的工艺流程 | 第64-67页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第67页 |
