机器视觉在全自动探针台中的应用
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题背景 | 第9页 |
| ·本课题研究的目的及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外相关技术发展状况 | 第10-15页 |
| ·机器视觉的发展状况 | 第10-13页 |
| ·探针台系统的发展概况和关键技术 | 第13-15页 |
| ·本文主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 全自动探针测试台系统架构分析 | 第16-22页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·全自动探针台主机部分 | 第16-17页 |
| ·硬件构成 | 第16-17页 |
| ·软件结构 | 第17页 |
| ·全自动探针台自动上下片部分 | 第17-19页 |
| ·硬件结构 | 第18-19页 |
| ·软件结构 | 第19页 |
| ·国内现有全自动探针测试台存在的不足 | 第19-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 全自动探针测试台晶圆片中心自动检测 | 第22-34页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·图像边缘检测 | 第22-24页 |
| ·Robert 边缘检测算子 | 第22-23页 |
| ·Sobel 边缘检测算子 | 第23页 |
| ·Prewitt 边缘检测算子 | 第23-24页 |
| ·Laplacian 边缘检测算子 | 第24页 |
| ·图像连通性分析 | 第24-26页 |
| ·晶圆中心自动检测 | 第26-29页 |
| ·图像二值化 | 第26-27页 |
| ·提取边缘 | 第27页 |
| ·边缘过滤 | 第27-28页 |
| ·寻找边缘点坐标 | 第28页 |
| ·应用最小二乘法减少误差 | 第28-29页 |
| ·计算晶圆片圆心坐标 | 第29页 |
| ·坐标转换 | 第29页 |
| ·试验分析 | 第29-33页 |
| ·边缘点精度验证 | 第30-31页 |
| ·系统精度验证 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 探针测试台晶粒墨点识别 | 第34-46页 |
| ·引言 | 第34-35页 |
| ·图像模板匹配 | 第35-41页 |
| ·互相关匹配算法 | 第36-37页 |
| ·投影匹配算法 | 第37-39页 |
| ·多尺度匹配算法 | 第39-40页 |
| ·边缘点匹配算法 | 第40页 |
| ·匹配相似性测度 | 第40-41页 |
| ·算法的比较和选择 | 第41-42页 |
| ·四种模板匹配算法的比较 | 第41-42页 |
| ·墨点检测算法的选择 | 第42页 |
| ·晶粒墨点识别 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 探针测试台晶圆片自动对准 | 第46-56页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·图像亚象素技术 | 第46-50页 |
| ·图像重采样法 | 第46-48页 |
| ·二次曲面拟合法 | 第48-50页 |
| ·探针测试台晶圆扫直 | 第50-51页 |
| ·探针测试台测试晶粒定位 | 第51-52页 |
| ·试验分析 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第6章 全自动探针测试台自动对针 | 第56-64页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·自动对针系统架构设计 | 第56-57页 |
| ·CCD 标定 | 第57-58页 |
| ·对针测试 | 第58-59页 |
| ·针盘角度修正 | 第59-60页 |
| ·针痕检测补偿 | 第60-61页 |
| ·试验分析 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
