基于离子刻蚀的石英晶振频率微调技术研究

中文摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章 绪论	第8-12页
·引言	第8页
·石英晶振频率微调国内外研究现状	第8-11页
·离子束刻蚀加工	第11-12页
第二章 石英晶振	第12-18页
·压电效应	第12-13页
·石英谐振器的形成及等效电路	第13-14页
·石英谐振器的谐振频率	第14页
·石英谐振器的电抗曲线	第14-16页
·石英晶振的温度特性	第16-18页
第三章 离子刻蚀技术	第18-28页
·离子束加工	第18-21页
·离子束加工原理	第18页
·离子束加工分类	第18-20页
·离子束加工应用	第20-21页
·离子束刻蚀	第21-25页
·离子刻蚀的物理过程	第21-22页
·离子刻蚀的溅射率	第22-25页
·离子束刻蚀设备	第25-26页
·离子源	第25-26页
·工作腔	第26页
·排气系统	第26页
·离子束刻蚀的应用	第26-28页
第四章 离子刻蚀频率微调及生产工艺	第28-42页
·频率微调方法	第28页
·离子刻蚀频率微调方法	第28-29页
·离子束电流密度	第29-30页
·离子束刻蚀速度	第30-32页
·离子刻蚀频率微调加工工艺	第32-42页
·离子刻蚀后数秒内频率的偏移	第32-35页
·离子刻蚀后频率偏移的处理方法	第35-39页
·离子枪出力不稳定产生不良现象	第39-40页
·离子枪出力不稳定的处理方法	第40-42页
结束语	第42-43页
参考文献	第43-45页
攻读学位期间公开发表的论文	第45-46页
致谢	第46-47页