微电子机械系统非线性动力学研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| 1 文献综述 | 第10-14页 |
| ·非线性振动理论概述 | 第10页 |
| ·机械系统非线性研究综述 | 第10-11页 |
| ·RLC 电路系统非线性研究综述 | 第11页 |
| ·微电子机械系统非线性动力学研究 | 第11-12页 |
| ·研究内容和创新点 | 第12-14页 |
| 2 电阻电感电容串联电路与微梁耦合动力学方程研究 | 第14-47页 |
| ·电阻电感电容串联电路与微梁耦合系统数学模型 | 第14-17页 |
| ·吸合电压分析 | 第17-19页 |
| ·电阻电感电容串联电路与微梁耦合系统机械方程研究 | 第19-43页 |
| ·主共振理论分析 | 第19-25页 |
| ·1/3 次亚谐共振理论分析 | 第25-30页 |
| ·3 次超谐共振理论分析 | 第30-34页 |
| ·2 次超谐共振理论分析 | 第34-37页 |
| ·1/2 次亚谐共振理论分析 | 第37-39页 |
| ·主参数共振理论分析 | 第39-43页 |
| ·电阻电感电容串联电路与微梁耦合系统电路方程研究 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 3 微梁振动系统多重共振研究 | 第47-54页 |
| ·多重共振理论研究 | 第47页 |
| ·两个模态研究Ⅰ | 第47-51页 |
| ·2:1 内共振研究 | 第47-49页 |
| ·3:1 内共振研究 | 第49-51页 |
| ·两个模态研究Ⅱ | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 4 电阻电感电容串联电路与微梁耦合系统研究 | 第54-85页 |
| ·内共振理论分析 | 第54-61页 |
| ·理论研究 | 第54页 |
| ·2:1 内共振 | 第54-61页 |
| ·主共振理论分析Ⅰ | 第61-63页 |
| ·主共振理论分析Ⅱ | 第63-65页 |
| ·1/3 次亚谐共振理论分析 | 第65-69页 |
| ·3 次超谐共振理论分析 | 第69-73页 |
| ·1/2 次亚谐共振理论分析 | 第73-77页 |
| ·2 次超谐共振理论分析 | 第77-80页 |
| ·主参数共振理论分析 | 第80-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 结论 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 导师简介 | 第91-92页 |
| 作者简介 | 第92-93页 |
| 学位论文数据集 | 第93页 |
