| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 微放电等离子体概况 | 第7-11页 |
| ·微等离子体源的特点 | 第7页 |
| ·微等离子体源的种类和研究进展 | 第7-10页 |
| ·本文研究内容 | 第10-11页 |
| 第二章 朗缪尔探针诊断和碳膜测试手段 | 第11-23页 |
| ·朗缪尔探针 | 第11-15页 |
| ·台阶仪 | 第15-16页 |
| ·拉曼光谱 | 第16-19页 |
| ·傅立叶变换红外光谱 | 第19-20页 |
| ·紫外-可见光光谱 | 第20-23页 |
| 第三章 微感应耦合等离子体的实验装置 | 第23-26页 |
| ·微感应耦合等离子体的原理及装置 | 第23-24页 |
| ·实验内容 | 第24-26页 |
| 第四章 微感应耦合等离子体的放电特性及碳膜结构分析 | 第26-33页 |
| ·微感应耦合Ar等离子体的放电特性 | 第26-27页 |
| ·碳膜的生长速率 | 第27-28页 |
| ·碳膜的拉曼光谱分析 | 第28-30页 |
| ·碳膜的傅立叶变换红外光谱分析 | 第30-31页 |
| ·碳膜的光学带隙 | 第31-33页 |
| 第五章 结语 | 第33-35页 |
| ·本文的主要结论 | 第33页 |
| ·存在问题和改进方案 | 第33-35页 |
| 参考文献 | 第35-38页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第38-39页 |
| 致谢 | 第39-42页 |