| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-30页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·ZnO的基本特性 | 第15-16页 |
| ·ZnO的能带结构 | 第16-17页 |
| ·ZnO的电学性质 | 第17-18页 |
| ·ZnO的光学性质 | 第18-19页 |
| ·ZnO的应用研究进展 | 第19-20页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第20-23页 |
| ·ZnO薄膜的p型掺杂及ZnO基p-n结电致发光 | 第23-27页 |
| ·ZnO薄膜p型掺杂的理论研究 | 第23-24页 |
| ·ZnO薄膜p型掺杂的实验研究 | 第24-26页 |
| ·ZnO基p-n结电致发光 | 第26-27页 |
| ·非极性ZnO薄膜的制备及研究 | 第27-28页 |
| ·本论文研究目的及其内容 | 第28-30页 |
| 第二章 固相源的制备及ZnO薄膜的沉积 | 第30-45页 |
| ·引言 | 第30-31页 |
| ·固相源的制备 | 第31-34页 |
| ·实验部分 | 第31-32页 |
| ·实验结果与分析 | 第32-34页 |
| ·固相源的化学分子式的解析 | 第32-34页 |
| ·固相源热重分析 | 第34页 |
| ·SSCVD技术制备ZnO薄膜 | 第34-42页 |
| ·ZnO薄膜样品的制备及成分分析 | 第34-38页 |
| ·薄膜制备的实验流程 | 第35页 |
| ·不同衬底温度沉积的薄膜红外光谱分析 | 第35-37页 |
| ·薄膜样品的X射线光电子能谱分析 | 第37-38页 |
| ·ZnO薄膜的制备工艺 | 第38-41页 |
| ·薄膜性能的表征方法 | 第41-42页 |
| ·SSCVD制备ZnO薄膜的生长机理 | 第42-44页 |
| ·SSCVD原理 | 第42-43页 |
| ·固相源热分解机理分析 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 非极性面择优取向ZnO薄膜的微结构及生长机理研究 | 第45-67页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·源温度对ZnO薄膜的影响 | 第45-48页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜的影响 | 第48-52页 |
| ·退火温度对ZnO薄膜的影响 | 第52-55页 |
| ·沉积压强对ZnO薄膜的影响 | 第55-59页 |
| ·非极性面择优取向ZnO薄膜的生长机理 | 第59-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第四章 非极性面择优取向ZnO薄膜的光学和电学性质 | 第67-91页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·非极性面择优取向的ZnO薄膜的光致发光 | 第67-83页 |
| ·ZnO光致发光机理 | 第67-71页 |
| ·薄膜的室温荧光激发性质 | 第71-73页 |
| ·不同退火温度下薄膜的光致发光 | 第73-74页 |
| ·薄膜的变温紫外发光 | 第74-81页 |
| ·低温高真空条件下的薄膜的紫外发光 | 第74-77页 |
| ·室温标准压强下的薄膜的紫外发光 | 第77-81页 |
| ·环境压强对薄膜光激发性质的影响 | 第78-80页 |
| ·薄膜的室温强紫外发光分析 | 第80-81页 |
| ·薄膜的非线性光学性能研究 | 第81-83页 |
| ·薄膜的透射光谱 | 第83-84页 |
| ·薄膜的电学性质 | 第84-89页 |
| ·沉积压强对薄膜电学性能的影响 | 第85-86页 |
| ·衬底温度对薄膜电学性能的影响 | 第86页 |
| ·薄膜的本征p型导电特性机理分析 | 第86-87页 |
| ·薄膜同质p-n结的制备 | 第87-89页 |
| ·本章小结 | 第89-91页 |
| 第五章 非极性ZnO∶V_(Zn)的电子结构和光学性质的理论计算 | 第91-102页 |
| ·引言 | 第91页 |
| ·密度泛涵理论建模和算法 | 第91-94页 |
| ·非极性面(100)ZnO∶V_(Zn)的电子结构 | 第94-98页 |
| ·非极性面(100)ZnO∶V_(Zn)的光学性质的理论计算 | 第98-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 第六章 基于非极性面择优取向ZnO薄膜p型掺杂 | 第102-112页 |
| ·引言 | 第102页 |
| ·p型掺杂元素的选择及掺杂机理 | 第102-104页 |
| ·p型掺杂ZnO薄膜的制备 | 第104-105页 |
| ·非极性面择优取向p型ZnO薄膜的制备 | 第104页 |
| ·极性c面取向p型ZnO薄膜的制备 | 第104-105页 |
| ·p型ZnO薄膜结构与成分分析 | 第105-107页 |
| ·取向对p型ZnO薄膜的影响规律 | 第107-111页 |
| ·取向p型ZnO薄膜与电学性能的关系 | 第107-108页 |
| ·非极性面取向稳定p型ZnO薄膜性能分析 | 第108-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 第七章 结论与展望 | 第112-115页 |
| ·本论文的主要结论 | 第112-114页 |
| ·本论文的创新点 | 第114页 |
| ·前景展望 | 第114-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
| 参考文献 | 第116-129页 |
| 攻博期间取得的研究成果 | 第129-130页 |
