| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·微机电系统概述 | 第7-11页 |
| ·MEMS 的特点 | 第8页 |
| ·MEMS 存在问题 | 第8-9页 |
| ·MEMS 应用 | 第9-11页 |
| ·加速度开关研究现状 | 第11-12页 |
| ·微加速度开关现状 | 第11-12页 |
| ·论文研究的目的和意义 | 第12-13页 |
| ·论文的主要工作 | 第13-15页 |
| 第二章 微加速度开关系统力学理论分析 | 第15-33页 |
| ·微加速度开关作用力分析 | 第15-28页 |
| ·尺度效应 | 第15-19页 |
| ·几何尺度效应 | 第15-17页 |
| ·力的尺度效应 | 第17-19页 |
| ·作用力行程效应 | 第19-28页 |
| ·极板间静电力分析 | 第20-22页 |
| ·弹性力分析 | 第22-23页 |
| ·压膜阻尼力分析 | 第23-26页 |
| ·Casimir 力分析 | 第26-28页 |
| ·机电耦合理论 | 第28-29页 |
| ·静电驱动微梁吸合效应分析 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 微加速度开关仿真分析 | 第33-49页 |
| ·COMSOL Multiphysics 软件介绍 | 第33-38页 |
| ·有限元 | 第33-34页 |
| ·COMSOL Multiphysics 软件介绍 | 第34-35页 |
| ·COMSOL Multiphysics 概述 | 第35-38页 |
| ·微加速度开关的物理模型 | 第38-39页 |
| ·微开关悬臂梁应力校核分析 | 第39-40页 |
| ·模态分析 | 第40-41页 |
| ·瞬态动力学分析 | 第41-46页 |
| ·本章小结 | 第46-49页 |
| 第四章 微加速度开关加工及测试 | 第49-59页 |
| ·MEMS 加工技术 | 第49-51页 |
| ·微开关加工图纸、造型、实物 | 第51-55页 |
| ·未密封微开关 | 第51-53页 |
| ·密封微开关 | 第53-55页 |
| ·微开关测试 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| ·工作总结 | 第59页 |
| ·论文的不足及工作展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 作者在读期间科研成果 | 第66-67页 |