致谢 | 第1-7页 |
摘要 | 第7-11页 |
ABSTRACT | 第11-15页 |
第一章 气溶胶辅助的气相淀积技术概述、应用及科学问题 | 第15-45页 |
第一节 气溶胶化学气相沉积技术概述及科学问题分析 | 第15-28页 |
第二节 气溶胶化学气相沉积相关技术及其应应用 | 第28-41页 |
参考文献 | 第41-45页 |
第二章 固体氧化物燃料电池的薄膜制备技术概述 | 第45-59页 |
第一节 中温固体氧化物燃料电池概述 | 第45-51页 |
第二节 薄膜型SOFCs的制备技术 | 第51-55页 |
本论文的立题意义和研究目标 | 第55-57页 |
参考文献 | 第57-59页 |
第三章 金属DPM螯合物制备表征、动力学研究及热分解行为 | 第59-87页 |
第一节 金属DPM螯合物的结构特性 | 第59页 |
第二节 几种金属DPM螯合物的制备与性能表征 | 第59-70页 |
第三节 金属DPM螯合物的气化动力学研究 | 第70-85页 |
本章小结 | 第85-86页 |
参考文献 | 第86-87页 |
第四章 冷壁AAMOCVD制备YSZ薄膜动力学分析 | 第87-107页 |
第一节 YSZ的性质 | 第87-88页 |
第二节 冷壁AAMOCVD的设计及实验方法 | 第88-90页 |
第三节 薄膜的制备及表征 | 第90-92页 |
第四节 YSZ薄膜的性能 | 第92-99页 |
第五节 YSZ薄膜的淀积过程动力学分析 | 第99-103页 |
本章小结 | 第103-105页 |
参考文献 | 第105-107页 |
第五章 喷雾型AAMOCVD制备SDC、YSZ薄膜及性能表征 | 第107-125页 |
第一节 DCO及SDC的性质 | 第107-108页 |
第二节 喷雾型AAMOCVD的实验方法 | 第108-110页 |
第三节 SDC薄膜的微结构、形貌以及组成分析 | 第110-116页 |
第四节 YSZ薄膜的微结构、形貌、组成及电导率分析 | 第116-123页 |
本章小结 | 第123-124页 |
参考文献 | 第124-125页 |
第六章 La(Ca)CrO_3薄膜的AACVD制备及性能表征 | 第125-149页 |
第一节 LaCrO_3基材料的性质和应用 | 第125-126页 |
第二节 LaCrO_3薄膜的超声AACVD制备及表征 | 第126-132页 |
第三节 LaCrO_3的AAMOCVD制备及表征 | 第132-137页 |
第四节 La_(0.7)Ca_(0.3)CrO_3的静电AACVD制备及表征 | 第137-147页 |
参考文献 | 第147-149页 |
攻读博士学位期间发表的论文及申请的专利 | 第149-150页 |