精密测量自动对焦系统研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-17页 |
| ·研究背景 | 第13-15页 |
| ·精密测量技术 | 第13-14页 |
| ·自动对焦技术 | 第14-15页 |
| ·光栅测量技术 | 第15页 |
| ·课题意义 | 第15页 |
| ·课题研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 自动对焦光路 | 第17-25页 |
| ·光路设计 | 第17-21页 |
| ·光路调试 | 第21-23页 |
| ·调整两透镜共轴 | 第21-22页 |
| ·调整光束垂直入射透镜 | 第22页 |
| ·调整光电探测器 | 第22页 |
| ·调整工件 | 第22-23页 |
| ·误差分析 | 第23-24页 |
| ·光源对光路的影响 | 第23页 |
| ·球差对光路的影响 | 第23-24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 第三章 PSD光电位置敏感探测器 | 第25-35页 |
| ·光电特性 | 第25页 |
| ·结构和工作原理 | 第25-27页 |
| ·PSD信号处理电路设计 | 第27-33页 |
| ·误差分析 | 第33-34页 |
| ·PSD反偏电压引起的误差 | 第33页 |
| ·背景光和暗电流引起的误差 | 第33-34页 |
| ·PSD及其信号处理电路噪声引起的误差 | 第34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第四章 对焦机械驱动装置设计 | 第35-48页 |
| ·交流伺服驱动 | 第35-40页 |
| ·伺服放大器 | 第35-37页 |
| ·伺服电机 | 第37-38页 |
| ·配线 | 第38-39页 |
| ·电机控制 | 第39-40页 |
| ·同步带轮机构设计 | 第40-47页 |
| ·同步带传动概述 | 第40-42页 |
| ·同步带传动设计 | 第42-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第五章 光栅信号处理 | 第48-60页 |
| ·光栅测量原理 | 第48-51页 |
| ·数字细分原理 | 第51页 |
| ·数字辨向原理 | 第51-52页 |
| ·光栅信号处理设计 | 第52-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 第六章 自动对焦系统实现 | 第60-70页 |
| ·下位机设计 | 第60-63页 |
| ·自动对焦控制器 | 第60-62页 |
| ·光栅信号处理器 | 第62-63页 |
| ·上位机设计 | 第63-66页 |
| ·自动对焦系统实现 | 第66-68页 |
| ·自动对焦系统的非球面测量应用 | 第68-69页 |
| ·小结 | 第69-70页 |
| 第七章 结论与展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 发表论文 | 第74-75页 |
| 附录 | 第75-84页 |
