氧化铝系化学机械抛光磨料的制备及颗粒分级
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 引言 | 第10-11页 |
| 1 文献综述 | 第11-29页 |
| ·化学机械抛光液材料与研究进展 | 第11-13页 |
| ·CMP抛光液概念 | 第11页 |
| ·CMP抛光液磨料 | 第11-12页 |
| ·氧化铝系CMP抛光液磨料的研究进展 | 第12-13页 |
| ·球形氧化铝制备技术研究进展 | 第13-19页 |
| ·水解法 | 第13-14页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第14页 |
| ·乳化法 | 第14-15页 |
| ·均相沉淀法 | 第15-16页 |
| ·化学气相沉积法 | 第16页 |
| ·喷雾干燥法 | 第16-17页 |
| ·溶剂热热解法 | 第17页 |
| ·爆炸合成法 | 第17-18页 |
| ·其他球形氧化铝的制备研究 | 第18-19页 |
| ·工业铝硅灰 | 第19-21页 |
| ·铝硅灰的生产过程 | 第20页 |
| ·铝硅灰的物理化学性质 | 第20-21页 |
| ·铝硅灰的现实应用 | 第21页 |
| ·粉体分级技术 | 第21-23页 |
| ·分级技术 | 第22页 |
| ·分级技术的种类 | 第22-23页 |
| ·超细粉体的分级技术 | 第23页 |
| ·超细粉体的分散技术 | 第23-27页 |
| ·超细粉在液相中的分散原理 | 第23-25页 |
| ·超细粉液相分散性的评价方法 | 第25页 |
| ·超细粉在液相中的分散途径 | 第25-27页 |
| ·本文目标、研究内容与创新点 | 第27-29页 |
| ·研究目标 | 第27页 |
| ·研究内容 | 第27-28页 |
| ·本文创新点 | 第28-29页 |
| 2 亚微米级球形氧化铝的制备 | 第29-44页 |
| ·实验部分 | 第29-32页 |
| ·实验仪器 | 第29页 |
| ·实验药品 | 第29页 |
| ·实验方案 | 第29页 |
| ·实验表征 | 第29-30页 |
| ·实验步骤 | 第30-32页 |
| ·实验结果与讨论 | 第32-43页 |
| ·硫酸铵溶液水解法 | 第32-36页 |
| ·乳化法 | 第36-39页 |
| ·加压热解法 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 3 铝硅灰悬浮液 | 第44-58页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·实验部分 | 第44-45页 |
| ·实验仪器 | 第44页 |
| ·实验药品 | 第44页 |
| ·实验方案 | 第44页 |
| ·表征与测试 | 第44-45页 |
| ·结果与讨论 | 第45-57页 |
| ·铝硅灰的性质 | 第45-47页 |
| ·溶剂的选择 | 第47-48页 |
| ·水体系pH值的影响 | 第48页 |
| ·分散剂的影响 | 第48-52页 |
| ·分散剂添加量的影响 | 第52-56页 |
| ·超声波分散的影响 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 4 超细粉液相沉降分级 | 第58-63页 |
| ·重力沉降分级 | 第58-60页 |
| ·实验部分 | 第58-59页 |
| ·结果与讨论 | 第59-60页 |
| ·离心沉降分级 | 第60-62页 |
| ·实验部分 | 第61页 |
| ·结果与讨论 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 附录A 重力沉降速度的公式推导 | 第70-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
