| 独创性声明 | 第1页 |
| 学位论文版权使用授权书 | 第3-4页 |
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·DLC膜概述 | 第8页 |
| ·类金刚石膜(DLC)的结构和分类 | 第8-10页 |
| ·DLC的性质及应用 | 第10-15页 |
| ·DLC的性质 | 第10-13页 |
| ·DLC的应用 | 第13-15页 |
| ·DLC薄膜的制备技术 | 第15-17页 |
| ·物理气相沉积(Physicalvapourdeposition,PVD) | 第15-16页 |
| ·化学气相沉积(Chemicalvapourdeposition,CVD) | 第16-17页 |
| ·类金刚石碳膜改性 | 第17-18页 |
| ·选题依据 | 第18-20页 |
| 第二章 RF-PECVD法制备类金刚石薄膜材料 | 第20-32页 |
| ·RF-PECVD技术概述 | 第20-21页 |
| ·RF-PECVD技术的原理 | 第21-25页 |
| ·RF-PECVD技术的特点 | 第25页 |
| ·实验设备 | 第25-27页 |
| ·实验材料 | 第27页 |
| ·过渡层的制备 | 第27-28页 |
| ·实验前处理 | 第28页 |
| ·rfPECVD法制备类金刚石薄膜 | 第28-30页 |
| ·工艺参数的选择 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 类金刚石薄膜的表征 | 第32-43页 |
| ·结构分析 | 第32-40页 |
| ·沉积膜的Raman谱表征 | 第32-35页 |
| ·Raman光谱原理 | 第32-33页 |
| ·实验结果与讨论Raman | 第33-35页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS) | 第35-39页 |
| ·傅立叶变换红外透射光谱分析(FT-IR) | 第39-40页 |
| ·类金刚石薄膜的表面形貌分析 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 DLC膜的机械性能及摩擦学特性 | 第43-61页 |
| ·硬度分析 | 第43-48页 |
| ·纳米硬度测试的基本原理 | 第43-45页 |
| ·实验结果与讨论 | 第45-48页 |
| ·摩擦和磨损结果分析 | 第48-59页 |
| ·摩擦系数分析 | 第48-56页 |
| ·不同基底对摩擦系数的影响 | 第48-50页 |
| ·不同入射功率对摩擦系数的影响 | 第50-52页 |
| ·不同CH4、H2流量对摩擦系数的影响 | 第52-54页 |
| ·不同载荷对摩擦系数的影响 | 第54-55页 |
| ·不同磨损时间对摩擦系数的影响 | 第55-56页 |
| ·磨损结果分析 | 第56页 |
| ·影响摩擦磨损的其它因素 | 第56-57页 |
| ·DLC薄膜的摩擦学机理研究 | 第57-59页 |
| ·结合力分析 | 第59页 |
| ·耐腐蚀性能测试 | 第59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 结论 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 硕士期间发表论文情况 | 第71页 |