| 第一章 绪论 | 第1-20页 |
| ·微机电系统技术 | 第8-14页 |
| ·MEMS 简介 | 第8-11页 |
| ·MEMS 基础性研究 | 第11-12页 |
| ·MEMS 典型器件及系统 | 第12-14页 |
| ·微机械滤波器研究意义 | 第14-17页 |
| ·机械滤波器研究意义 | 第14-15页 |
| ·微机械滤波器研究意义 | 第15-17页 |
| ·微机械滤波器国内外发展情况 | 第17-19页 |
| ·本文课题研究的内容和目标 | 第19-20页 |
| 第二章 机械滤波器基本结构与原理 | 第20-30页 |
| ·滤波器概念 | 第20-21页 |
| ·振动系统和机电耦合关系 | 第21-26页 |
| ·简单的机械振动系统 | 第21-23页 |
| ·简单的LCR 谐振器 | 第23-24页 |
| ·机电系统耦合 | 第24-26页 |
| ·机械滤波器设计 | 第26-30页 |
| 第三章 微机械滤波器工作原理与结构设计 | 第30-45页 |
| ·自由梁谐振器的设计 | 第31-36页 |
| ·系统谐振频率的确定 | 第32-34页 |
| ·高频谐振梁的设计 | 第34-36页 |
| ·支撑结构设计 | 第36-39页 |
| ·输入输出端口的能量转换 | 第39-45页 |
| ·驱动电容设计 | 第40-42页 |
| ·驱动力分析 | 第42-45页 |
| 第四章 基于COVENTORWARE 的微机械滤波器结构仿真 | 第45-55页 |
| ·C OVENTORWARE 简介 | 第45-47页 |
| ·COVENTORWARE 仿真流程 | 第47-48页 |
| ·谐振梁模态分析及仿真 | 第48-51页 |
| ·自由梁的振型分析 | 第48-49页 |
| ·微机械滤波器的Conventor 模型建立 | 第49-50页 |
| ·微机械滤波器的模态分析 | 第50-51页 |
| ·谐振梁形变分析 | 第51-53页 |
| ·Coventor 中CoSolveEM 求解器相关参数 | 第51-52页 |
| ·偏置电压仿真分析 | 第52-53页 |
| ·支撑点接触电压分析及仿真 | 第53-55页 |
| 第五章 微机械滤波器工艺设计及仿真 | 第55-66页 |
| ·MEMS 加工技术简介 | 第55-58页 |
| ·MEMS 材料 | 第58-59页 |
| ·微机械滤波器的工艺设计 | 第59-66页 |
| ·微机械滤波器的工艺设计方案 | 第59-61页 |
| ·微机械滤波器硅片主要加工工艺 | 第61-63页 |
| ·微机械滤波器CoventorWare 工艺仿真 | 第63-64页 |
| ·掩模版仿真 | 第64-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-69页 |
| ·工作总结 | 第66-67页 |
| ·微机械滤波器展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻硕士期间取得的研究成果 | 第73页 |