高精度消光式椭圆偏振测厚仪的研究与实现
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 椭圆偏振测厚仪的发展概况 | 第9-14页 |
| §1.1 国外椭偏测量技术的发展 | 第10-11页 |
| §1.2 国内椭偏测量技术的发展 | 第11-12页 |
| §1.3 研究内容及目的 | 第12-13页 |
| §1.4 本章小结 | 第13-14页 |
| 第二章 消光式椭圆偏振测厚仪的原理 | 第14-26页 |
| §2.1 反射型椭圆偏振测量理论 | 第14-21页 |
| §2.2 消光法测量原理 | 第21-25页 |
| §2.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 椭偏仪的硬件组成 | 第26-46页 |
| §3.1 椭偏仪整体组成框架 | 第26-27页 |
| §3.2 光机系统组成 | 第27-31页 |
| §3.3 从机系统的硬件组成 | 第31-45页 |
| §3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 椭偏仪系统的软件设计 | 第46-64页 |
| §4.1 从机软件系统设计 | 第46-51页 |
| §4.2 主机软件系统设计 | 第51-62页 |
| §4.3 主从机数据协议的设计 | 第62-63页 |
| §4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 仪器的性能测试 | 第64-73页 |
| §5.1 仪器调试 | 第64-66页 |
| §5.2 准确性测试 | 第66-69页 |
| §5.3 重复性测试 | 第69-71页 |
| §5.4 仪器达到的性能指标 | 第71-72页 |
| §5.5 同类仪器性能比较 | 第72页 |
| §5.6 本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 误差分析 | 第73-75页 |
| §6.1 误差来源 | 第73-74页 |
| §6.2 减小误差的方法 | 第74页 |
| §6.3 本章小结 | 第74-75页 |
| 结束语 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-79页 |
