| 第一章 绪论 | 第1-18页 |
| ·金刚石膜的性质及应用 | 第7-10页 |
| ·CVD 金刚石膜生长机理 | 第10-13页 |
| ·CVD 金刚石膜制备方法 | 第13-16页 |
| ·论文的选题和主要内容 | 第16-18页 |
| 第二章 直流热阴极 PCVD 方法制备金刚石膜 | 第18-26页 |
| ·直流热阴极 PCVD 方法制备金刚装置及工艺 | 第18-22页 |
| ·直流热阴极气体放电特性 | 第22-26页 |
| 第三章 热阴极 | 第26-38页 |
| ·热阴极的选择 | 第26-27页 |
| ·钽阴极的性质及其在实验气氛中的反应 | 第27-34页 |
| ·热阴极的防护 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 放电电流对直流热阴极辉光放电和金刚石膜品质的影响 | 第38-56页 |
| ·放电电流对直流热阴极 PCVD 制备工艺的影响 | 第38-44页 |
| ·放电电流对辉光状态的影响 | 第38-41页 |
| ·放电电流对阴极温度的影响 | 第41-43页 |
| ·放电电流对放电电压的影响 | 第43-44页 |
| ·放电电流对金刚石膜生长速率及品质的影响 | 第44-54页 |
| ·放电电流对金刚石膜沉积速率的影响 | 第44-46页 |
| ·放电电流对金刚石膜品质的影响 | 第46-54页 |
| ·放电电流对金刚石膜品质影响的SEM分析 | 第46-48页 |
| ·放电电流对金刚石膜品质影响的激光 Raman 分析 | 第48-53页 |
| ·放电电流对金刚石膜品质影响的XRD分析 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 总结 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 摘要 | 第63-65页 |
| Abstract | 第65-69页 |