| 第一章 引 言 | 第1-13页 |
| ·Si基SiO2薄膜材料的制备技术 | 第7-12页 |
| ·课题的提出及论文的内容 | 第12-13页 |
| 第二章 用Sol-gel法制备Si基SiO2薄膜材料 | 第13-39页 |
| ·制备纯SiO2薄膜的溶胶凝胶过程 | 第14-15页 |
| ·实验过程机理 | 第15-21页 |
| ·实验条件对溶胶-凝胶SiO2薄膜质量的影响 | 第21-33页 |
| ·SiO2薄膜材料特性分析 | 第33-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 Sn掺杂 SiO2薄膜材料的制备及其光敏特性 | 第39-57页 |
| ·SnO2-SiO2薄膜的制备 | 第40-43页 |
| ·SnO2-SiO2膜的特性 | 第43-49页 |
| ·SnO2-SiO2薄膜的紫外光诱导折变研究 | 第49-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第四章 结论和展望 | 第57-59页 |
| ·结论 | 第57-58页 |
| ·展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 中文摘要 | 第65-67页 |
| 英文摘要 | 第67-69页 |
| 附录 | 第69-70页 |