用于光纤通信的MEMS光开关
| 第一章 前言 | 第1-16页 |
| §1．1 光开关市场分析 | 第7-8页 |
| §1．2 MEMS技术 | 第8-10页 |
| §1．3 光开关研究现状 | 第10-13页 |
| §1．4 光开关应用及前景分析 | 第13-14页 |
| §1．5 静电和磁场感应驱动 | 第14页 |
| §1．6 本课题的研究意义、主要内容及研究方法 | 第14-16页 |
| 第二章 2×2光开关的结构设计 | 第16-49页 |
| §2．1 光开关的主要性能参数 | 第16-17页 |
| §2．2 光开关的结构设计 | 第17-21页 |
| §2．3 悬臂梁的模拟变形及参数的选择 | 第21-28页 |
| §2．4 平面镜的理论分析与设计 | 第28-32页 |
| §2．5 电磁铁设计 | 第32-47页 |
| §2．6 光纤 | 第47-49页 |
| 第三章 光开关数值分析 | 第49-71页 |
| §3．1 光开关的有限元分析 | 第49-54页 |
| §3．2 悬臂梁的振态分析 | 第54-57页 |
| §3．3 光开关的耦合分析 | 第57-63页 |
| §3．4 光开关损耗分析 | 第63-71页 |
| 第四章 光开关工艺设计 | 第71-83页 |
| §4．1 硅微机械加工技术 | 第71-78页 |
| §4．2 TMAH各向异性腐蚀特性 | 第78-80页 |
| §4．3 光开关的工艺设计 | 第80-83页 |
| 第五章 小结 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 符号索引 | 第85-87页 |
| 附录 | 第87-91页 |
| 发表论文及获奖 | 第91-92页 |
| 参考文献 | 第92-98页 |
