基于GaSb的热光伏电池工艺技术的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| ·热光伏技术简介 | 第8-9页 |
| ·典型的光伏电池的制造工艺 | 第9-10页 |
| ·热光伏电池工艺的研究途径 | 第10-11页 |
| ·本文主要研究内容 | 第11-12页 |
| 2 GaSb材料的性质与制备 | 第12-24页 |
| ·300K的GaSb的基本参数 | 第13页 |
| ·力学性能，弹性常数，晶格振动 | 第13-15页 |
| ·能带结构和载流子密度 | 第15-17页 |
| ·电学性质 | 第17-18页 |
| ·热学性质 | 第18-20页 |
| ·光学性质 | 第20-21页 |
| ·GaSb单晶材料的制备 | 第21-24页 |
| ·GaSb单晶的三种制备方法 | 第21-22页 |
| ·实验室采用的制备方法 | 第22-24页 |
| 3 热光伏电池的原理和理论分析 | 第24-40页 |
| ·热光伏电池概况 | 第24-26页 |
| ·硅电池 | 第24页 |
| ·二元III-V族化合物 | 第24页 |
| ·三元、四元III-V族化合物 | 第24-25页 |
| ·采用MIM设计的热光伏电池 | 第25页 |
| ·量子阱光伏电池 | 第25-26页 |
| ·热光伏电池原理 | 第26-35页 |
| ·半导体中的复合过程 | 第26-29页 |
| ·p-n结的模型 | 第29-35页 |
| ·热光伏电池与太阳电池的区别 | 第35页 |
| ·热光伏系统的原理 | 第35-36页 |
| ·热光伏电池的等效电路、输出功率、填充因数 | 第36-38页 |
| ·热光伏电池的效率 | 第38-40页 |
| 4 热光伏电池的制造过程与工艺 | 第40-71页 |
| ·概述 | 第40页 |
| ·清洗 | 第40-44页 |
| ·杂质的形式 | 第41页 |
| ·湿法清洗 | 第41-42页 |
| ·颗粒污染 | 第42页 |
| ·有机杂质 | 第42-43页 |
| ·金属杂质 | 第43页 |
| ·冲洗和烘干 | 第43页 |
| ·物理清洗法 | 第43-44页 |
| ·实验材料具体清洗办法 | 第44页 |
| ·扩散 | 第44-51页 |
| ·GaSb中Zn扩散的基本理论 | 第44-46页 |
| ·扩散工艺 | 第46-49页 |
| ·实验过程与结论 | 第49-50页 |
| ·去背结 | 第50-51页 |
| ·金属化 | 第51-54页 |
| ·真空蒸镀法的基本原理 | 第51-52页 |
| ·真空蒸镀的设备 | 第52页 |
| ·制作电极 | 第52-54页 |
| ·掩模制备 | 第54-58页 |
| ·光刻 | 第58-67页 |
| ·光刻工艺 | 第59-65页 |
| ·下一代光刻方法 | 第65-67页 |
| ·减反射层 | 第67-71页 |
| ·原理 | 第67-68页 |
| ·GaSb电池阳极氧化膜的制备工艺与反射特性 | 第68-69页 |
| ·氮化硅薄膜的制备工艺 | 第69-71页 |
| 5 热光伏电池的测试 | 第71-80页 |
| ·基片的电阻率和方块电阻的测量 | 第71-75页 |
| ·热光伏电池伏安曲线及串并联电阻的测量的探讨 | 第75-78页 |
| ·实验结果与结论 | 第78-80页 |
| 结论 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
