| 提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-26页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·ZNO 薄膜的结构特性 | 第8-9页 |
| ·ZNO 薄膜的光电特性 | 第9-10页 |
| ·ZNO 薄膜的发光机理 | 第10-11页 |
| ·ZNO 薄膜的研究现状 | 第11-16页 |
| ·ZnO 的特性掺杂和PN 结的制作 | 第13页 |
| ·ZnO 薄膜的应用前景 | 第13-16页 |
| ·ZNO 薄膜的制备方法 | 第16-23页 |
| ·分子束外延(MBE) | 第16-17页 |
| ·金属有机物汽相外延(MOCVD) | 第17页 |
| ·锌膜氧化法 | 第17-18页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD) | 第18-23页 |
| ·本文研究的意义及内容 | 第23-26页 |
| ·选题意义 | 第23-24页 |
| ·研究内容 | 第24-26页 |
| 第二章 实验方案及工艺研究 | 第26-32页 |
| ·实验设备 | 第26-27页 |
| ·实验材料 | 第27页 |
| ·实验方案 | 第27-29页 |
| ·以Si（111）为基体制取ZnO 薄膜 | 第28页 |
| ·以石英玻璃为基体制取ZnO 薄膜 | 第28-29页 |
| ·样品组织结构和光学特性的表征 | 第29页 |
| ·工艺性研究 | 第29-32页 |
| 第三章 SI 基体上沉积ZNO 薄膜的组织结构与发光性能 | 第32-59页 |
| ·引言 | 第32-33页 |
| ·激光能量密度对ZNO 薄膜组织结构的影响 | 第33-37页 |
| ·样品结构的XRD 分析 | 第33-34页 |
| ·样品组织的SEM 分析 | 第34-37页 |
| ·氧气压力对ZNO 薄膜组织结构及发光性能的影响 | 第37-46页 |
| ·样品结构的XRD 分析 | 第38-39页 |
| ·样品组织的SEM 分析 | 第39-42页 |
| ·样品发光性能的photoluminescence（PL）分析 | 第42-46页 |
| ·基体温度对ZNO 薄膜组织结构及发光性能的影响 | 第46-58页 |
| ·样品结构的XRD 分析 | 第47-48页 |
| ·样品组织的FESEM 分析 | 第48-52页 |
| ·样品表面形貌的AFM 分析 | 第52-56页 |
| ·样品发光性能的photoluminescence（PL）分析 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 石英玻璃基体上沉积ZNO 薄膜的组织结构与光学性能 | 第59-70页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·基体温度对ZNO 薄膜组织结构和光学性能的影响 | 第59-69页 |
| ·样品组织结构的XRD 和FESEM 分析 | 第60-64页 |
| ·样品发光性能的photoluminescence（PL）分析 | 第64-66页 |
| ·样品的透光率和禁带能量分析 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-79页 |
| 摘要 | 第79-82页 |
| ABSTRACT | 第82-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 导师及作者简介 | 第86页 |
