光纤微梁谐振器的理论及相关技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1. 绪论 | 第8-17页 |
| ·概述 | 第8-9页 |
| ·微机械传感技术 | 第8-9页 |
| ·光纤传感技术概述 | 第9页 |
| ·光激励微谐振器的技术特点 | 第9-10页 |
| ·谐振器的主要性能指标 | 第10页 |
| ·微机械谐振器的工艺加工特点 | 第10页 |
| ·光激励微机械谐振器的国内外研究现状 | 第10-14页 |
| ·国外研究现状 | 第11-13页 |
| ·国内研究状况 | 第13-14页 |
| ·光激励微谐振器研究的发展趋势 | 第14-15页 |
| ·本论文的主要研究意义及内容 | 第15-17页 |
| 2. 光纤微梁谐振器的结构设计及支撑阻尼分析 | 第17-30页 |
| ·光纤微梁谐振器的结构设计 | 第17页 |
| ·阻尼分析的物理意义 | 第17-23页 |
| ·微谐振器的谐振技术特征 | 第18-19页 |
| ·品质因数Q的含义 | 第19-20页 |
| ·品质因数的主要影响因素分析 | 第20-23页 |
| ·光纤微梁谐振器件的阻尼分析 | 第23-30页 |
| ·支撑阻尼分析 | 第23-28页 |
| ·仿真分析 | 第28-30页 |
| 3. 光纤微梁敏感器件的加工 | 第30-37页 |
| ·微机械加工技术 | 第30-31页 |
| ·腐蚀方法 | 第30-31页 |
| ·微纳精密机械加工方法 | 第31页 |
| ·侧面研磨光纤装置的设计 | 第31-37页 |
| ·早期采用的光纤研磨方法 | 第32-33页 |
| ·精确研磨单模光纤的装置和技术 | 第33-34页 |
| ·本课题所采用的光纤研磨方法 | 第34-37页 |
| 4. 多层研磨光纤结构的光传输特性 | 第37-42页 |
| ·多层研磨光纤结构 | 第37页 |
| ·多层研磨光纤结构理论模型建立 | 第37-39页 |
| ·数值计算及结论 | 第39-42页 |
| 5. 计算结果与分析 | 第42-59页 |
| ·研磨光纤结构的其它主要阻尼形式分析 | 第42-51页 |
| ·声辐射及热对流和热辐射 | 第42-43页 |
| ·材料内摩擦 | 第43页 |
| ·热弹性阻尼(TED) | 第43-44页 |
| ·空气黏性阻尼 | 第44-46页 |
| ·研磨光纤结构的品质因数计算及仿真 | 第46-51页 |
| ·研磨光纤梁机械固有频率ANSYS有限元模拟分析 | 第51-59页 |
| ·研磨光纤梁的固有频率模态分析 | 第52-56页 |
| ·双端固支梁的固有频率模态分析 | 第56-59页 |
| 6. 全文总结与展望 | 第59-61页 |
| ·总结 | 第59页 |
| ·改进与展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第67页 |
