微热板式微气压传感器电热力耦合及瞬态特性研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-15页
·微气压传感器研究背景	第9-12页
·微热板传感器研究关键问题与现状	第12-14页
·本文研究的内容	第14-15页
2 微热板式微气压传感器电热力藕合理论	第15-32页
·微热板式微气压传感器的工作原理及其加工工艺流程	第15-17页
·微热板的工作原理	第15页
·微热板的加工工艺流程	第15-17页
·微热板式微气压传感器热传导理论	第17-19页
·微热板式微气压传感器传热形式	第19-25页
·气体热传导	第19-20页
·气体对流换热	第20-21页
·支撑桥导热	第21-24页
·热辐射	第24-25页
·微热板式微气压传感器电热力耦合影响因素分析	第25-30页
·薄膜厚度	第25-26页
·气隙高度	第26页
·微热板面积和支撑桥尺寸	第26页
·加热电阻条	第26-27页
·支撑桥宽度优化选取	第27-30页
·微热板式微气压传感器耦合分析	第30-32页
3 微热板式微气压传感器电热力耦合仿真	第32-39页
·微气压传感器电热理论分析	第32-36页
·理论模型的建立	第32-34页
·模型加载与求解	第34页
·模拟结果和分析	第34-36页
·微气压传感器热传导分析	第36-39页
·有限元模型的建立	第36页
·数据的计算与加载	第36-38页
·仿真分析	第38-39页
4 微热板式微气压传感器电热力耦合瞬态分析	第39-44页
·模型建立与分析	第39-42页
·有限元模型的建立	第39-40页
·加载和求解	第40页
·模拟结果和分析	第40-42页
·微气压传感器电热力耦合瞬态点拟合	第42-43页
·微气压传感器稳态与瞬态分析比较结论	第43-44页
5 测试系统气压自动控制及传感器性能测试	第44-52页
·测试系统气压自动控制	第44-50页
·测试系统组成及工作原理	第45-47页
·自动测试系统的基本要求	第47-48页
·微热板式微气压传感器测试电路	第48-50页
·影响传感器测试效果的因素	第50-52页
结论	第52-54页
参考文献	第54-57页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第57-58页
致谢	第58-59页