MEMS传感器弱信号检测电路及集成设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第8-9页 |
| ·国外研究现状及分析 | 第8页 |
| ·国内研究现状及分析 | 第8-9页 |
| ·本课题研究的目的与意义 | 第9页 |
| ·本论文研究的主要内容与安排 | 第9-11页 |
| ·主要研究内容 | 第9页 |
| ·论文内容安排 | 第9-11页 |
| 第二章 微机械电容式加速度计设计基础 | 第11-23页 |
| ·微机械加速度传感器的结构与原理 | 第11-19页 |
| ·压阻式加速度计 | 第11-12页 |
| ·电容式加速度计 | 第12-14页 |
| ·微机械电容式加速度工作原理 | 第14-18页 |
| ·开环/闭环工作原理 | 第18-19页 |
| ·电容式接口电路设计基础 | 第19-23页 |
| ·单片与双片集成 | 第19-20页 |
| ·表面微加工和体硅微加工 | 第20页 |
| ·开关电容电路 | 第20-22页 |
| ·相关双采样技术 | 第22-23页 |
| 第三章 微机械电容式加速度计的接口电路设计 | 第23-57页 |
| ·开环式加速度计数学模型和电学模型 | 第23-26页 |
| ·开环式加速度计数学模型和电学模型 | 第23-26页 |
| ·电容式接口电路噪声分析 | 第26-29页 |
| ·布朗噪声 | 第26-27页 |
| ·电阻和MOS管热噪声 | 第27-28页 |
| ·闪烁噪声 | 第28页 |
| ·KT/C噪声 | 第28页 |
| ·传感器充电基准电压噪声 | 第28-29页 |
| ·低噪声放大器设计 | 第29-41页 |
| ·放大器噪声及对应位移分辨率分析 | 第29-31页 |
| ·放大器输入晶体管优化 | 第31-32页 |
| ·输入共模反馈电路及噪声性能优化 | 第32-34页 |
| ·低噪声放大器电路及分析 | 第34-41页 |
| ·高精度基准电路设计 | 第41-48页 |
| ·电压基准设计 | 第42-46页 |
| ·电压基准仿真结果 | 第46-48页 |
| ·低功耗振荡器设计 | 第48-57页 |
| ·振荡器原理 | 第48-50页 |
| ·振荡器设计 | 第50-53页 |
| ·振荡器仿真 | 第53-57页 |
| 第四章 接口电路系统设计 | 第57-67页 |
| ·开环检测电路开关设计 | 第57-64页 |
| ·开关模型分析 | 第57-59页 |
| ·开关非理想特性 | 第59-60页 |
| ·开关设计 | 第60-64页 |
| ·开环检测电路系统设计 | 第64-67页 |
| 第五章 结论与设计展望 | 第67-71页 |
| ·本论文主要结论 | 第67-69页 |
| ·设计展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 研究成果 | 第75-76页 |
