激光干涉检测装置的实验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题研究目的和意义 | 第8-9页 |
| ·精密检测技术现状 | 第9-15页 |
| ·各种精密检测仪器 | 第9-14页 |
| ·精密检测仪器比较 | 第14-15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 激光干涉测量光路系统设计 | 第16-25页 |
| ·乌氏干涉仪的改造 | 第16-19页 |
| ·乌氏干涉仪的改造 | 第16-18页 |
| ·干涉信号的提取 | 第18-19页 |
| ·光电转换器件的选择 | 第19-21页 |
| ·光电转换器件类型 | 第19-20页 |
| ·光电转换器件选择 | 第20-21页 |
| ·光路机械结构设计 | 第21-24页 |
| ·激光发生器的固定 | 第21-22页 |
| ·条纹接受装置的设计 | 第22-23页 |
| ·圆度误差检测装置系统设计 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 检测系统硬件电路设计 | 第25-40页 |
| ·检测系统硬件电路系统组成 | 第25-26页 |
| ·光电信号调理放大电路 | 第26-30页 |
| ·前置放大电路 | 第26-28页 |
| ·滤波电路 | 第28-30页 |
| ·双门限整形电路 | 第30-32页 |
| ·辨向细分电路 | 第32-37页 |
| ·基本辨向电路 | 第33-35页 |
| ·四细分辨向电路 | 第35-37页 |
| ·判向计数电路 | 第37-39页 |
| ·判向计数器 | 第37-38页 |
| ·串行接口 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 激光干涉检测装置实验研究 | 第40-51页 |
| ·检测装置调试 | 第40-43页 |
| ·机械装置的调试 | 第40-41页 |
| ·光电压信号调试 | 第41页 |
| ·方波信号的调试 | 第41-42页 |
| ·辨向细分电路的EDA 仿真 | 第42页 |
| ·数据采集与控制 | 第42-43页 |
| ·干涉仪标定实验 | 第43-46页 |
| ·标定实验系统搭建 | 第43-44页 |
| ·条纹当量标定结果 | 第44-45页 |
| ·测量量程标定结果 | 第45-46页 |
| ·圆度误差测量实验 | 第46-50页 |
| ·V 型法圆度误差测量原理 | 第46-47页 |
| ·圆度误差测量系统 | 第47页 |
| ·圆度误差测量数据及结果 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
