| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 引言 | 第10-19页 |
| ·PZT 铁电电容器概述 | 第10-12页 |
| ·PZT 铁电电容器的研究概况 | 第12-15页 |
| ·铁电铁磁异质结薄膜研究进展 | 第15-17页 |
| ·本论文的主要内容及意义 | 第17-19页 |
| 第2章 样品的制备及性能的测量 | 第19-25页 |
| ·样品的制备方法 | 第19-21页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第19-20页 |
| ·磁控溅射法 | 第20-21页 |
| ·光刻工艺 | 第21-22页 |
| ·样品的测量方法 | 第22-25页 |
| ·铁电性能测试 | 第23页 |
| ·X 射线衍射 | 第23-24页 |
| ·振动样品磁强计 | 第24-25页 |
| 第3章 玻璃基PZT 铁电电容器的性能研究 | 第25-31页 |
| ·两种电容器的制备 | 第25-26页 |
| ·两种电容器的结构与性能研究 | 第26-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 第4章 FePt/PZT/Pt 结构与铁电性能的研究 | 第31-45页 |
| ·FePt/PZT/Pt 与Pt/PZT/Pt 电容器的制备 | 第31页 |
| ·FePt/PZT/Pt 与Pt/PZT/Pt 电容器的结构和铁电性能的研究 | 第31-43页 |
| ·FePt/PZT/Pt 铁电铁磁性能研究 | 第43-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第5章 FePt/PZT 铁磁铁电异质结薄膜的集成 | 第45-50页 |
| ·FePt/PZT 铁磁铁电异质结薄膜的制备 | 第45-46页 |
| ·FePt/PZT 铁磁铁电异质结薄膜的性能 | 第46-49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 结语 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第60页 |
