| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 Ⅲ族氮化物的简介 | 第8-10页 |
| 1.1.1 Ⅲ族氮化物的基本结构 | 第8-9页 |
| 1.1.2 Ⅲ族氮化物的应用前景 | 第9-10页 |
| 1.2 研究背景与选题意义 | 第10-13页 |
| 1.2.1 纳米材料力学研究的难点与挑战 | 第10-11页 |
| 1.2.2 Ⅲ族氮化物材料力学特性的研究意义 | 第11-13页 |
| 1.3 Ⅲ族氮化物力学特性的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第15-17页 |
| 2 分子动力学与后处理方法简介 | 第17-23页 |
| 2.1 运动方程 | 第17-20页 |
| 2.1.1 基本原理和计算方法 | 第17页 |
| 2.1.2 计算方法与温度控制 | 第17-20页 |
| 2.2 原子间的势函数 | 第20-21页 |
| 2.2.1 SW势函数 | 第20-21页 |
| 2.2.2 Vashishta势函数 | 第21页 |
| 2.3 局部结构变形的识别方法 | 第21页 |
| 2.4 分子动力学仿真软件及显示软件 | 第21-23页 |
| 2.4.1 仿真软件 | 第21-22页 |
| 2.4.2 显示软件 | 第22-23页 |
| 3 单晶Ⅲ族氮化物力学特性及结构演化 | 第23-33页 |
| 3.1 引言 | 第23页 |
| 3.2 计算模型和模拟条件 | 第23-24页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第24-32页 |
| 3.3.1 球形压痕载荷下AlN(0001)面的结构变形 | 第24-26页 |
| 3.3.2 柱体压痕下单晶AlN变形的各向异性分析 | 第26-32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 4 Ⅲ族氮化物位错环形成机理 | 第33-47页 |
| 4.1 引言 | 第33页 |
| 4.2 计算模型和模拟条件 | 第33-34页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第34-46页 |
| 4.3.1 位错环形成的各向异性分析 | 第34-37页 |
| 4.3.2 棱柱形位错环的形成和扩展 | 第37-44页 |
| 4.3.3 Ⅲ族氮化物中的位错结构和迁移类型 | 第44-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 5 多层膜Ⅲ族氮化物界面结构及力学特性分析 | 第47-54页 |
| 5.1 引言 | 第47页 |
| 5.2 计算模型和模拟条件 | 第47-48页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第48-53页 |
| 5.3.1 界面结构 | 第48-50页 |
| 5.3.2 拉压特性 | 第50-53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 6 结论与展望 | 第54-56页 |
| 6.1 结论 | 第54页 |
| 6.2 展望 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-64页 |
| 附录 | 第64-65页 |
| A 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第64-65页 |
| B 作者在攻读学位期间参与科研项目目录 | 第65页 |