| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第11-15页 |
| 1.1.1 集成电路与光刻技术 | 第11-14页 |
| 1.1.2 微环境恒温气浴概述 | 第14-15页 |
| 1.1.3 研究意义 | 第15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.2.1 国内研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.2 国外研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3 课题来源和研究内容 | 第18-19页 |
| 1.4 本章小结 | 第19-20页 |
| 2 浸没单元微环境恒温气浴方案设计 | 第20-58页 |
| 2.1 需求分析 | 第20-23页 |
| 2.1.1 功能需求分析 | 第20页 |
| 2.1.2 性能需求指标 | 第20-21页 |
| 2.1.3 换气流量的确定 | 第21-23页 |
| 2.2 方案设计 | 第23-25页 |
| 2.3 关键元器件选型 | 第25-36页 |
| 2.3.1 液体温控器 | 第25-28页 |
| 2.3.2 气液热交换器 | 第28-32页 |
| 2.3.3 气体流量控制器 | 第32-33页 |
| 2.3.4 液体流量控制器 | 第33-34页 |
| 2.3.5 温度传感器 | 第34-35页 |
| 2.3.6 气体质量流量计 | 第35-36页 |
| 2.3.7 其他元器件的选型 | 第36页 |
| 2.4 微环境恒温气浴系统的电气设计 | 第36-43页 |
| 2.4.1 PLC的程序设计 | 第38-42页 |
| 2.4.2 元件电源与功率 | 第42页 |
| 2.4.3 电路设计 | 第42-43页 |
| 2.5 微环境恒温气浴系统的机械结构设计 | 第43-46页 |
| 2.5.1 整体机柜的设计 | 第44页 |
| 2.5.2 执行元件的连接结构设计 | 第44-45页 |
| 2.5.3 上层电气结构设计 | 第45-46页 |
| 2.6 温控系统软件设计 | 第46-57页 |
| 2.6.1 温控软件框架 | 第46-48页 |
| 2.6.2 温控软件的通讯设计 | 第48-51页 |
| 2.6.3 温控软件流程 | 第51页 |
| 2.6.4 人机交互界面设计 | 第51-55页 |
| 2.6.5 数据库实现 | 第55-57页 |
| 2.7 本章小结 | 第57-58页 |
| 3 微环境气浴箱结构设计与优化 | 第58-79页 |
| 3.1 送风系统的选择 | 第58-59页 |
| 3.2 孔板送风的设计 | 第59-61页 |
| 3.2.1 气流流型 | 第59-60页 |
| 3.2.2 送风速度 | 第60页 |
| 3.2.3 稳压层高度 | 第60页 |
| 3.2.4 孔板开口面积及孔口尺寸 | 第60-61页 |
| 3.3 微环境气浴箱体材料的选择 | 第61-62页 |
| 3.4 微环境气浴箱体的结构设计方案分析 | 第62-63页 |
| 3.5 微环境气浴箱体温度均匀性仿真 | 第63-78页 |
| 3.5.1 CFD技术与CFX | 第63-64页 |
| 3.5.2 微环境气浴箱体气体的CFD模型 | 第64-65页 |
| 3.5.3 基于solidworks的三维模型的构建 | 第65-68页 |
| 3.5.4 计算网格分析 | 第68-70页 |
| 3.5.5 初始条件和边界条件 | 第70页 |
| 3.5.6 CFD仿真结果后处理 | 第70-76页 |
| 3.5.7 气体回路中热量损失的仿真分析 | 第76-78页 |
| 3.6 本章小结 | 第78-79页 |
| 4 微环境温度控制系统的控制结构设计及仿真测试 | 第79-95页 |
| 4.1 温控系统的数学建模 | 第79-85页 |
| 4.1.1 换热器的模型 | 第79-81页 |
| 4.1.2 帕尔贴温控器的数学模型 | 第81-83页 |
| 4.1.3 微环境温度控制箱数学模型 | 第83-85页 |
| 4.2 微环境温度控制系统的控制结构设计 | 第85-92页 |
| 4.2.1 单闭环控制结构 | 第86-87页 |
| 4.2.2 串级控制结构 | 第87-89页 |
| 4.2.3 主副PID控制器参数整定 | 第89-92页 |
| 4.3 控制效果测试 | 第92-94页 |
| 4.4 本章小结 | 第94-95页 |
| 5 总结与展望 | 第95-97页 |
| 5.1 论文总结 | 第95页 |
| 5.2 论文展望 | 第95-97页 |
| 参考文献 | 第97-100页 |