| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-32页 |
| 1.1 高气压条件下的等离子体放电 | 第12-16页 |
| 1.1.1 等离子体的热力学描述 | 第12-14页 |
| 1.1.2 工作气压对热力学状态的影响 | 第14-15页 |
| 1.1.3 高气压下等离子体的产生及其特征 | 第15-16页 |
| 1.2 高气压直流等离子体 | 第16-22页 |
| 1.2.1 直流电弧等离子体炬 | 第16-18页 |
| 1.2.2 亚大气压直流辉光等离子体 | 第18-22页 |
| 1.2.3 大气压条件下的电晕放电 | 第22页 |
| 1.3 高气压射频放电 | 第22-28页 |
| 1.3.1 电感耦合等离子体炬 | 第23-25页 |
| 1.3.2 大气压等离子体射流(APPJ) | 第25-27页 |
| 1.3.3 大气压介质阻挡放电 | 第27-28页 |
| 1.4 高气压微波放电 | 第28-29页 |
| 1.5 低气压容性耦合射频放电 | 第29-30页 |
| 1.6 本论文的主要工作 | 第30-32页 |
| 第二章 大气压30kW-ICP等离子体炬E-H模式 | 第32-52页 |
| 2.1 电感耦合(ICP)等离子体放电 | 第32-33页 |
| 2.2 30kW大气压ICP炬实验装置 | 第33-42页 |
| 2.2.1 高气压ICP等离子体放电的趋肤深度与均匀性讨论 | 第33-39页 |
| 2.2.2 2MHz大气压30kW-ICP等离子体炬实验装置 | 第39-42页 |
| 2.3 高功率ICP等离子体E-H模式转换实验 | 第42-43页 |
| 2.4 ICP等离子体炬模式转换的理论分析 | 第43-50页 |
| 2.4.1 射频场中等离子体的功率吸收与耗散 | 第43-49页 |
| 2.4.2 等离子体放电的功率平衡与模式转换 | 第49-50页 |
| 2.5 本章小结 | 第50-52页 |
| 第三章 低功率大气压ICP等离子体微射流的放电跳变 | 第52-68页 |
| 3.1 低功率模式下ICP等离子体微射流 | 第52-54页 |
| 3.2 等离子体射流的发射光谱诊断与电子激发温度的计算 | 第54-57页 |
| 3.3 大气压ICP等离子体微射流的模式研究 | 第57-67页 |
| 3.3.1 实验安排 | 第57页 |
| 3.3.2 二次点火诱发的ICP等离子体射流的放电跳变 | 第57-59页 |
| 3.3.3 等离子体射流热效应 | 第59-62页 |
| 3.3.4 电子激发温度 | 第62-63页 |
| 3.3.5 ICP等离子体射流放电跳变的机制 | 第63-67页 |
| 3.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第四章 高气压下直流辉光等离子体的脉冲特性 | 第68-86页 |
| 4.1 高气压条件下直流辉光等离子体 | 第68-74页 |
| 4.1.1 直流辉光放电 | 第68-71页 |
| 4.1.2 高气压条件下直流辉光等离子体的稳定性 | 第71-72页 |
| 4.1.3 高气压直流辉光等离子体稳定运行的研究进展 | 第72-74页 |
| 4.2 高气压直流辉光放电的脉冲控制 | 第74-78页 |
| 4.2.1 直流辉光放电等离子体的脉冲运行 | 第74-75页 |
| 4.2.2 脉冲调制系统设计 | 第75-77页 |
| 4.2.3 脉冲调制等离子体放电诊断 | 第77-78页 |
| 4.3 高气压下直流辉光等离子体的脉冲特性 | 第78-84页 |
| 4.3.1 放电电压电流波形随占空比的变化 | 第78-82页 |
| 4.3.2 不同占空比下等离子体发射光谱诊断 | 第82-83页 |
| 4.3.3 脉冲占空比的控制机制 | 第83-84页 |
| 4.4 本章小结 | 第84-86页 |
| 第五章 射频等离子体Si-B-N合金沉积 | 第86-108页 |
| 5.1 研究背景 | 第86-88页 |
| 5.2 容性耦合等离子体沉积实验装置 | 第88-93页 |
| 5.2.1 射频容性耦合放电 | 第88-89页 |
| 5.2.2 等离子体化学气相沉积 | 第89页 |
| 5.2.3 CCP等离子体化学气相沉积装置 | 第89-93页 |
| 5.3 Si-B-N薄膜沉积与特性 | 第93-103页 |
| 5.3.1 Si-B-N薄膜的制备 | 第93页 |
| 5.3.2 Si-B-N薄膜的特性与结构 | 第93-103页 |
| 5.4 铁基表面Si-B-N薄膜界面特征 | 第103-106页 |
| 5.5 本章小结 | 第106-108页 |
| 第六章 总结与展望 | 第108-112页 |
| 6.1 本论文的主要工作 | 第108-110页 |
| 6.2 未来可进一步开展的工作 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 攻读博士期间发表的学术论文 | 第124-125页 |
