| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第1章 引言 | 第15-35页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第15-19页 |
| 1.1.1 大尺寸中阶梯光栅的应用 | 第16-17页 |
| 1.1.2 大尺寸中阶梯光栅制造难点 | 第17-19页 |
| 1.2 大尺寸拼接中阶梯光栅的研究现状 | 第19-32页 |
| 1.2.1 拼接误差分析及检测方法 | 第20-31页 |
| 1.2.2 光栅拼接误差检测技术研究中存在的问题 | 第31-32页 |
| 1.3 论文主要研究内容及结构安排 | 第32-35页 |
| 1.3.1 主要研究内容 | 第32-33页 |
| 1.3.2 文章结构安排 | 第33-35页 |
| 第2章 拼接光栅的三维理论模型的建立及分析 | 第35-57页 |
| 2.1 引言 | 第35页 |
| 2.2 建立光栅拼接三维理论模型 | 第35-47页 |
| 2.2.1 拼接误差定义及三维变换矩阵 | 第36-39页 |
| 2.2.2 结合光栅衍射波前与空间三维变换矩阵建立光栅拼接三维模型 | 第39-47页 |
| 2.3 实验验证 | 第47-56页 |
| 2.3.1 拼接误差调整装置的机械结构 | 第47-50页 |
| 2.3.2 拼接光栅三维理论模型的实验分析 | 第50-56页 |
| 2.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第3章 中阶梯光栅拼接误差检测系统的设计及分析 | 第57-87页 |
| 3.1 引言 | 第57页 |
| 3.2 中阶梯光栅物理特性 | 第57-58页 |
| 3.3 中阶梯光栅拼接误差检测系统 | 第58-74页 |
| 3.3.1 中阶梯光栅拼接误差检测理论分析 | 第58-62页 |
| 3.3.2 中阶梯光栅拼接误差检测系统的仿真设计 | 第62-69页 |
| 3.3.3 实验验证 | 第69-74页 |
| 3.4 “零级”—衍射级共检的中阶梯光栅拼接误差检测系统 | 第74-85页 |
| 3.4.1 光学系统仿真设计及拼接误差检测理论分析 | 第75-80页 |
| 3.4.2 实验验证 | 第80-85页 |
| 3.5 本章小结 | 第85-87页 |
| 第4章 中阶梯光栅拼接系统中的误差来源与影响分析 | 第87-109页 |
| 4.1 引言 | 第87-88页 |
| 4.2 中阶梯光栅的拼接误差容限 | 第88-91页 |
| 4.3 光栅位置误差分析 | 第91-102页 |
| 4.3.1 转动中心与原点不重合的处理方法 | 第91-100页 |
| 4.3.2 转动中心位置测量误差的影响 | 第100-102页 |
| 4.4 中阶梯光栅拼接误差检测系统中的入射光角度误差分析 | 第102-106页 |
| 4.5 本章小结 | 第106-109页 |
| 第5章 中阶梯光栅拼接及复制实验 | 第109-123页 |
| 5.1 引言 | 第109页 |
| 5.2 拼接光栅复制实验准备工作 | 第109-113页 |
| 5.2.1 常温胶实验 | 第109-110页 |
| 5.2.2 光栅镀膜实验 | 第110-113页 |
| 5.3 中阶梯光栅拼接及复制 | 第113-120页 |
| 5.4 本章小结 | 第120-123页 |
| 第6章 总结与展望 | 第123-127页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第123-124页 |
| 6.2 创新点 | 第124页 |
| 6.3 展望 | 第124-127页 |
| 参考文献 | 第127-135页 |
| 致谢 | 第135-137页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第137-138页 |
