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中阶梯光栅拼接及复制技术研究

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-8页
第1章 引言第15-35页
    1.1 研究背景及意义第15-19页
        1.1.1 大尺寸中阶梯光栅的应用第16-17页
        1.1.2 大尺寸中阶梯光栅制造难点第17-19页
    1.2 大尺寸拼接中阶梯光栅的研究现状第19-32页
        1.2.1 拼接误差分析及检测方法第20-31页
        1.2.2 光栅拼接误差检测技术研究中存在的问题第31-32页
    1.3 论文主要研究内容及结构安排第32-35页
        1.3.1 主要研究内容第32-33页
        1.3.2 文章结构安排第33-35页
第2章 拼接光栅的三维理论模型的建立及分析第35-57页
    2.1 引言第35页
    2.2 建立光栅拼接三维理论模型第35-47页
        2.2.1 拼接误差定义及三维变换矩阵第36-39页
        2.2.2 结合光栅衍射波前与空间三维变换矩阵建立光栅拼接三维模型第39-47页
    2.3 实验验证第47-56页
        2.3.1 拼接误差调整装置的机械结构第47-50页
        2.3.2 拼接光栅三维理论模型的实验分析第50-56页
    2.4 本章小结第56-57页
第3章 中阶梯光栅拼接误差检测系统的设计及分析第57-87页
    3.1 引言第57页
    3.2 中阶梯光栅物理特性第57-58页
    3.3 中阶梯光栅拼接误差检测系统第58-74页
        3.3.1 中阶梯光栅拼接误差检测理论分析第58-62页
        3.3.2 中阶梯光栅拼接误差检测系统的仿真设计第62-69页
        3.3.3 实验验证第69-74页
    3.4 “零级”—衍射级共检的中阶梯光栅拼接误差检测系统第74-85页
        3.4.1 光学系统仿真设计及拼接误差检测理论分析第75-80页
        3.4.2 实验验证第80-85页
    3.5 本章小结第85-87页
第4章 中阶梯光栅拼接系统中的误差来源与影响分析第87-109页
    4.1 引言第87-88页
    4.2 中阶梯光栅的拼接误差容限第88-91页
    4.3 光栅位置误差分析第91-102页
        4.3.1 转动中心与原点不重合的处理方法第91-100页
        4.3.2 转动中心位置测量误差的影响第100-102页
    4.4 中阶梯光栅拼接误差检测系统中的入射光角度误差分析第102-106页
    4.5 本章小结第106-109页
第5章 中阶梯光栅拼接及复制实验第109-123页
    5.1 引言第109页
    5.2 拼接光栅复制实验准备工作第109-113页
        5.2.1 常温胶实验第109-110页
        5.2.2 光栅镀膜实验第110-113页
    5.3 中阶梯光栅拼接及复制第113-120页
    5.4 本章小结第120-123页
第6章 总结与展望第123-127页
    6.1 论文工作总结第123-124页
    6.2 创新点第124页
    6.3 展望第124-127页
参考文献第127-135页
致谢第135-137页
作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果第137-138页

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