水冷压电变形镜的设计与制备
| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 自适应光学原理 | 第10-11页 |
| 1.2 自适应光学的应用 | 第11-14页 |
| 1.3 变形镜概述 | 第14-16页 |
| 1.4 水冷变形镜研究现状 | 第16-19页 |
| 1.5 本文内容及结构 | 第19-21页 |
| 2 水冷单压电片变形镜的设计与仿真 | 第21-34页 |
| 2.1 变形镜的结构设计 | 第21-22页 |
| 2.2 变形镜的控制算法 | 第22-24页 |
| 2.3 变形镜结构仿真优化 | 第24-29页 |
| 2.3.1 变形镜的有限元建模 | 第24-25页 |
| 2.3.2 变形镜结构参数优化 | 第25-29页 |
| 2.4 变形镜的校正能力分析 | 第29-31页 |
| 2.5 变形镜热仿真分析 | 第31-32页 |
| 2.6 变形镜固有频率分析 | 第32-33页 |
| 2.7 本章小结 | 第33-34页 |
| 3 水冷压电变形镜的制备 | 第34-39页 |
| 3.1 变形镜工艺流程 | 第34-35页 |
| 3.2 变形镜制备重要步骤 | 第35-38页 |
| 3.3 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 水冷压电变形镜性能表征 | 第39-48页 |
| 4.1 自适应光学测试平台 | 第39-41页 |
| 4.2 变形镜校正性能表征 | 第41-44页 |
| 4.2.1 影响函数测试 | 第41页 |
| 4.2.2 初始面型及校正 | 第41-42页 |
| 4.2.3 重构能力测试 | 第42-44页 |
| 4.3 冷却液对面型影响分析 | 第44-45页 |
| 4.4 厚硅片的变形镜性能表征 | 第45-46页 |
| 4.5 本章小结 | 第46-48页 |
| 5 总结与展望 | 第48-50页 |
| 5.1 总结 | 第48-49页 |
| 5.2 展望 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 在学研究成果 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
