基于光学杠杆法的微纳位移测量系统的研究
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第11-15页 |
| 1.1.1 微悬臂梁的概况 | 第12-13页 |
| 1.1.2 微悬臂梁传感器的两种工作模式 | 第13-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-22页 |
| 1.2.1 电容法 | 第16页 |
| 1.2.2 压电法 | 第16-17页 |
| 1.2.3 压阻法 | 第17-19页 |
| 1.2.4 光学干涉法 | 第19页 |
| 1.2.5 电子隧穿读出方法 | 第19-20页 |
| 1.2.6 光波导法 | 第20-21页 |
| 1.2.7 光学杠杆法及其研究现状 | 第21-22页 |
| 1.3 研究的主要内容及总体设计方案 | 第22-25页 |
| 第2章 测量系统的原理及搭建 | 第25-47页 |
| 2.1 概述 | 第25页 |
| 2.2 测量系统的基本原理 | 第25-28页 |
| 2.2.1 光学杠杆的基本原理 | 第25-26页 |
| 2.2.2 悬臂梁受力弯曲变形的基本原理 | 第26-28页 |
| 2.3 光路系统的设计 | 第28-30页 |
| 2.4 测量系统元件的选择及搭建 | 第30-46页 |
| 2.4.1 光源的选择 | 第30-31页 |
| 2.4.2 光电位置灵敏度探测器 | 第31-40页 |
| 2.4.3 信号处理与采集 | 第40-44页 |
| 2.4.4 被测量样品的制作 | 第44-45页 |
| 2.4.5 系统的其他元件及整体组成 | 第45-46页 |
| 2.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 实验测量及实施 | 第47-55页 |
| 3.1 概述 | 第47页 |
| 3.2 PSD的线性度测量 | 第47-49页 |
| 3.3 系统标定与测量分析 | 第49-53页 |
| 3.3.1 系统灵敏度标定 | 第49-51页 |
| 3.3.2 悬臂梁挠度测量 | 第51-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第4章 测量的实验结果分析 | 第55-61页 |
| 4.1 概述 | 第55页 |
| 4.2 系统标定的分辨率的确定 | 第55页 |
| 4.3 悬臂梁挠度测量结果分析 | 第55-57页 |
| 4.4 实验系统中的误差来源 | 第57-59页 |
| 4.4.1 系统内部影响因素 | 第57-58页 |
| 4.4.2 外部影响因素 | 第58-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第5章 结论与展望 | 第61-63页 |
| 5.1 概述 | 第61页 |
| 5.2 全文总结 | 第61页 |
| 5.3 展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 附录 | 第69页 |
| A 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第69页 |
| B 作者在攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第69页 |
| C 作者在攻读硕士学位期间获得的荣誉 | 第69页 |
