柔性无机半导体PIN光电二极管的光电特性研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第7-9页 |
| 1.2 课题的国内外研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 低速柔性电子的研究现状 | 第9-10页 |
| 1.2.2 高速柔性电子的研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.3 柔性光电子器件的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 论文的研究内容及结构安排 | 第13-15页 |
| 第2章 光电器件结构及性能指标 | 第15-23页 |
| 2.1 光电基础理论 | 第15-16页 |
| 2.2 光电探测器简介 | 第16-20页 |
| 2.2.1 PN结光电二极管 | 第16-17页 |
| 2.2.2 PIN光电二极管 | 第17-19页 |
| 2.2.3 雪崩光电二极管 | 第19-20页 |
| 2.2.4 其他光电探测器结构 | 第20页 |
| 2.3 光电探测器的性能指标 | 第20-21页 |
| 2.3.1 量子效率 | 第20页 |
| 2.3.2 响应度 | 第20-21页 |
| 2.3.3 暗电流 | 第21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-23页 |
| 第3章 柔性PIN光电二极管的制作和测试 | 第23-33页 |
| 3.1 柔性PIN光电二极管的设计 | 第23-25页 |
| 3.1.1 材料选择 | 第23-24页 |
| 3.1.2 结构选择 | 第24-25页 |
| 3.2 柔性PIN光电二极管的制作 | 第25-28页 |
| 3.3 柔性PIN光电二极管的测试 | 第28-31页 |
| 3.3.1 测试方法 | 第28-29页 |
| 3.3.2 测试结果 | 第29-31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-33页 |
| 第4章 柔性PIN光电二极管的性能仿真 | 第33-49页 |
| 4.1 TCAD仿真 | 第33-40页 |
| 4.1.1 TCAD仿真简介 | 第33-35页 |
| 4.1.2 TCAD仿真模型的建立 | 第35-38页 |
| 4.1.3 TCAD仿真结果 | 第38-40页 |
| 4.2 应力有限元仿真 | 第40-46页 |
| 4.2.1 应力有限元仿真简介 | 第40-41页 |
| 4.2.2 应力有限元仿真模型的建立 | 第41-44页 |
| 4.2.3 应力有限元仿真结果 | 第44-46页 |
| 4.3 本章小结 | 第46-49页 |
| 第5章 柔性PIN光电二极管的性能表征 | 第49-61页 |
| 5.1 材料对于柔性PIN光电二极管的影响 | 第49-52页 |
| 5.1.1 暗电流与半导体薄膜层材料的关系 | 第49-50页 |
| 5.1.2 光电流与半导体薄膜层材料的关系 | 第50-52页 |
| 5.2 光照条件对于柔性PIN光电二极管的影响 | 第52-54页 |
| 5.2.1 入射光波长的影响 | 第52-53页 |
| 5.2.2 光功率影响 | 第53-54页 |
| 5.3 器件尺寸对于柔性PIN光电二极管的影响 | 第54-58页 |
| 5.3.1 本征区长度的影响 | 第54-56页 |
| 5.3.2 本征区宽度的影响 | 第56-58页 |
| 5.4 其他影响 | 第58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-61页 |
| 第6章 总结和展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
