有机蒸发源的研发
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9-12页 |
| 1.1.1 有机分子薄膜器件 | 第9-10页 |
| 1.1.2 有机分子束外延技术 | 第10-12页 |
| 1.2 真空镀膜技术及蒸发源 | 第12-13页 |
| 1.2.1 真空镀膜技术 | 第12-13页 |
| 1.2.2 蒸发源 | 第13页 |
| 1.3 国内外研究现状及发展趋势 | 第13-16页 |
| 1.3.1 国内外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3.2 发展趋势 | 第15-16页 |
| 1.4 课题研究意义及主要内容 | 第16-17页 |
| 1.4.1 研究意义 | 第16页 |
| 1.4.2 主要内容 | 第16-17页 |
| 本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 有机蒸发源总体方案研究 | 第18-25页 |
| 2.1 有机蒸发源工作原理 | 第18-20页 |
| 2.1.1 加热原理 | 第18-19页 |
| 2.1.2 冷却原理 | 第19-20页 |
| 2.1.3 有机蒸发源工作过程 | 第20页 |
| 2.2 有机蒸发源总体设计方案 | 第20-23页 |
| 2.3 有机蒸发源选材分析 | 第23-24页 |
| 2.3.1 选材要求 | 第23页 |
| 2.3.2 各零部件选材分析 | 第23-24页 |
| 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 有机蒸发源仿真设计 | 第25-30页 |
| 3.1 仿真软件介绍 | 第25页 |
| 3.2 初步几何模型的建立 | 第25-28页 |
| 3.2.1 仿真思路分析 | 第26-27页 |
| 3.2.2 网格划分 | 第27-28页 |
| 3.3 仿真结果及分析 | 第28-29页 |
| 本章小结 | 第29-30页 |
| 第四章 有机蒸发源结构设计 | 第30-52页 |
| 4.1 有机分子产生与蒸发装置 | 第30-34页 |
| 4.1.1 坩埚 | 第30-31页 |
| 4.1.2 遮挡板机构 | 第31-34页 |
| 4.2 加热装置 | 第34-41页 |
| 4.2.1 电热丝 | 第34-35页 |
| 4.2.2 金属导热体 | 第35-38页 |
| 4.2.3 电极 | 第38页 |
| 4.2.4 电极连接组件 | 第38-41页 |
| 4.3 冷却水循环装置 | 第41-42页 |
| 4.3.1 冷却水管选型 | 第41-42页 |
| 4.3.2 冷却水管设计 | 第42页 |
| 4.4 测温装置 | 第42-44页 |
| 4.5 其他装置 | 第44-48页 |
| 4.5.1 支撑装置 | 第44-46页 |
| 4.5.2 屏蔽装置 | 第46页 |
| 4.5.3 连接装置 | 第46-47页 |
| 4.5.4 密封组件 | 第47-48页 |
| 4.6 有机蒸发源装配 | 第48-51页 |
| 4.6.1 装配准备 | 第48页 |
| 4.6.2 装配检查和检测 | 第48页 |
| 4.6.3 整体装配 | 第48-51页 |
| 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 有机蒸发源性能测试 | 第52-66页 |
| 5.1 测试平台搭建 | 第52-55页 |
| 5.1.1 真空系统 | 第52-53页 |
| 5.1.2 加热电源 | 第53-55页 |
| 5.1.3 冷却水循环系统 | 第55页 |
| 5.2 有机蒸发源测试准备 | 第55-57页 |
| 5.2.1 有机蒸发源连接 | 第55-56页 |
| 5.2.2 测试过程 | 第56-57页 |
| 5.3 测试结果及分析 | 第57-65页 |
| 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
