BAW滤波器设计方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9-11页 |
| 1.2 BAW滤波器及设计方法的研究现状 | 第11-17页 |
| 1.3 研究思路 | 第17-19页 |
| 1.4 本文组织安排 | 第19-21页 |
| 2 设计基础 | 第21-34页 |
| 2.1 FBAR的工作原理及电路模型 | 第21-24页 |
| 2.1.1 Mason模型 | 第22-24页 |
| 2.1.2 BVD模型与MBVD模型 | 第24页 |
| 2.2 FBAR电路模型的改进 | 第24-31页 |
| 2.2.1 Mason模型的改进原理 | 第25-26页 |
| 2.2.2 改进模型的参数提取 | 第26-31页 |
| 2.3 BAW滤波器的结构及工作原理 | 第31-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 3 BAW滤波器的设计方法 | 第34-58页 |
| 3.1 确定滤波器阶数及结构 | 第35-44页 |
| 3.1.1 确定阶数的原理 | 第35-37页 |
| 3.1.2 确定阶数的方法 | 第37-41页 |
| 3.1.3 确定滤波器结构 | 第41-44页 |
| 3.2 确定FBARS各膜层厚度和面积 | 第44-46页 |
| 3.2.1 确定FBAR单元各膜层的材料及参数 | 第44-45页 |
| 3.2.2 确定FBAR有源区面积 | 第45-46页 |
| 3.3 BAW滤波器的优化设计 | 第46-49页 |
| 3.3.1 串、并联FBAR面积比的优化 | 第47-48页 |
| 3.3.2 FBAR单元膜层厚度的优化 | 第48-49页 |
| 3.4 声-电磁联合仿真方法验证 | 第49-57页 |
| 3.4.1 仿真原理 | 第49-52页 |
| 3.4.2 仿真方法 | 第52-57页 |
| 3.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 4 WI-FI频段BAW滤波器设计 | 第58-75页 |
| 4.1 设计指标 | 第58-59页 |
| 4.2 初始设计 | 第59-61页 |
| 4.2.1 初始电路模型 | 第59页 |
| 4.2.2 FBAR单元各膜层厚度的确定 | 第59-61页 |
| 4.3 优化设计 | 第61-65页 |
| 4.4 声-电磁联合仿真验证 | 第65-68页 |
| 4.4.1 版图布局设计 | 第65-66页 |
| 4.4.2 滤波器的电磁模型 | 第66-68页 |
| 4.5 声-电磁联合仿真中的共地电感效应 | 第68-74页 |
| 4.5.1 共地电感效应 | 第68-70页 |
| 4.5.2 验证共地电感效应 | 第70-73页 |
| 4.5.3 减小共地电感效应的方法 | 第73-74页 |
| 4.6 本章小结 | 第74-75页 |
| 5 自动布局工具的设计开发 | 第75-83页 |
| 5.1 设计思路 | 第75-76页 |
| 5.2 开发工具 | 第76-77页 |
| 5.3 设计开发 | 第77-82页 |
| 5.3.1 版图的自动布局 | 第77-80页 |
| 5.3.2 生成滤波器的三维模型 | 第80-82页 |
| 5.4 本章小结 | 第82-83页 |
| 6 结论 | 第83-86页 |
| 6.1 论文的主要工作 | 第83-85页 |
| 6.2 论文的创新点 | 第85页 |
| 6.3 后续工作展望 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-92页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文及研究成果 | 第92页 |
