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BAW滤波器设计方法研究

摘要第4-5页
abstract第5页
1 绪论第9-21页
    1.1 课题研究背景第9-11页
    1.2 BAW滤波器及设计方法的研究现状第11-17页
    1.3 研究思路第17-19页
    1.4 本文组织安排第19-21页
2 设计基础第21-34页
    2.1 FBAR的工作原理及电路模型第21-24页
        2.1.1 Mason模型第22-24页
        2.1.2 BVD模型与MBVD模型第24页
    2.2 FBAR电路模型的改进第24-31页
        2.2.1 Mason模型的改进原理第25-26页
        2.2.2 改进模型的参数提取第26-31页
    2.3 BAW滤波器的结构及工作原理第31-33页
    2.4 本章小结第33-34页
3 BAW滤波器的设计方法第34-58页
    3.1 确定滤波器阶数及结构第35-44页
        3.1.1 确定阶数的原理第35-37页
        3.1.2 确定阶数的方法第37-41页
        3.1.3 确定滤波器结构第41-44页
    3.2 确定FBARS各膜层厚度和面积第44-46页
        3.2.1 确定FBAR单元各膜层的材料及参数第44-45页
        3.2.2 确定FBAR有源区面积第45-46页
    3.3 BAW滤波器的优化设计第46-49页
        3.3.1 串、并联FBAR面积比的优化第47-48页
        3.3.2 FBAR单元膜层厚度的优化第48-49页
    3.4 声-电磁联合仿真方法验证第49-57页
        3.4.1 仿真原理第49-52页
        3.4.2 仿真方法第52-57页
    3.5 本章小结第57-58页
4 WI-FI频段BAW滤波器设计第58-75页
    4.1 设计指标第58-59页
    4.2 初始设计第59-61页
        4.2.1 初始电路模型第59页
        4.2.2 FBAR单元各膜层厚度的确定第59-61页
    4.3 优化设计第61-65页
    4.4 声-电磁联合仿真验证第65-68页
        4.4.1 版图布局设计第65-66页
        4.4.2 滤波器的电磁模型第66-68页
    4.5 声-电磁联合仿真中的共地电感效应第68-74页
        4.5.1 共地电感效应第68-70页
        4.5.2 验证共地电感效应第70-73页
        4.5.3 减小共地电感效应的方法第73-74页
    4.6 本章小结第74-75页
5 自动布局工具的设计开发第75-83页
    5.1 设计思路第75-76页
    5.2 开发工具第76-77页
    5.3 设计开发第77-82页
        5.3.1 版图的自动布局第77-80页
        5.3.2 生成滤波器的三维模型第80-82页
    5.4 本章小结第82-83页
6 结论第83-86页
    6.1 论文的主要工作第83-85页
    6.2 论文的创新点第85页
    6.3 后续工作展望第85-86页
致谢第86-87页
参考文献第87-92页
攻读硕士期间发表的学术论文及研究成果第92页

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