微梁式谐振压力传感器多场耦合动力学特性研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 引言 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 微谐振梁多场耦合自由振动分析 | 第18-48页 |
| 2.1 自由振动方程 | 第18-22页 |
| 2.2 静变形方程求解 | 第22-24页 |
| 2.3 自由振动方程求解 | 第24-27页 |
| 2.4 自由振动结果分析 | 第27-47页 |
| 2.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 简谐电压激励下微谐振梁耦合振动特性分析 | 第48-72页 |
| 3.1 受迫振动方程 | 第48-52页 |
| 3.2 受迫振动方程求解 | 第52-65页 |
| 3.3 振动特性结果分析 | 第65-71页 |
| 3.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 第4章 微型谐振梁压力传感器敏感性分析 | 第72-84页 |
| 4.1 灵敏度计算 | 第72-75页 |
| 4.2 灵敏度结果分析 | 第75-82页 |
| 4.3 本章小结 | 第82-84页 |
| 第5章 微型谐振梁压力传感器动力学仿真分析 | 第84-92页 |
| 5.1 压力膜静力学仿真 | 第84-86页 |
| 5.1.1 受均布载荷压力膜静力学仿真 | 第84-85页 |
| 5.1.2 结果分析 | 第85-86页 |
| 5.2 谐振梁动力学仿真 | 第86-91页 |
| 5.2.1 谐振梁模态及谐振响应仿真 | 第87页 |
| 5.2.2 结果分析 | 第87-91页 |
| 5.3 本章小结 | 第91-92页 |
| 第6章 微型谐振梁压力传感器实验研究 | 第92-98页 |
| 6.1 谐振传感器制作 | 第92-93页 |
| 6.2 测试电路与测试平台 | 第93-95页 |
| 6.3 固有频率测试结果 | 第95-97页 |
| 6.4 实验结果分析 | 第97页 |
| 6.5 本章小结 | 第97-98页 |
| 结论 | 第98-100页 |
| 参考文献 | 第100-104页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第104-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 作者简介 | 第106页 |
