二自由度大行程微定位平台设计与运动控制
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 字母注释表 | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-24页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第13页 |
| 1.2 微定位系统 | 第13-19页 |
| 1.2.1 驱动器 | 第14-16页 |
| 1.2.2 传动机构 | 第16-17页 |
| 1.2.3 测量装置 | 第17-18页 |
| 1.2.4 控制系统 | 第18-19页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第19-23页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 微定位平台结构设计 | 第24-32页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 柔性铰链 | 第24-29页 |
| 2.2.1 平行机构 | 第26-28页 |
| 2.2.2 柔性虎克铰链 | 第28-29页 |
| 2.3 微定位平台结构设计 | 第29-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 微定位平台动静态特性分析 | 第32-42页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 微定位平台刚度分析 | 第32-39页 |
| 3.2.1 柔度矩阵分析 | 第32-36页 |
| 3.2.2 微定位平台柔度分析 | 第36-39页 |
| 3.3 微定位平台动态特性分析 | 第39-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 微定位平台数值计算、有限元仿真和实验测试 | 第42-65页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 微定位平台数值计算 | 第42-43页 |
| 4.2.1 屈曲性分析 | 第43页 |
| 4.2.2 柔度分析 | 第43页 |
| 4.2.3 固有频率 | 第43页 |
| 4.3 微定位平台有限元分析 | 第43-52页 |
| 4.3.1 静态特性分析 | 第44-50页 |
| 4.3.2 固有频率分析 | 第50-51页 |
| 4.3.3 谐响应分析 | 第51-52页 |
| 4.4 微定位平台实验测试 | 第52-63页 |
| 4.4.1 微定位平台刚度实验 | 第52-54页 |
| 4.4.2 微定位平台固有频率实验 | 第54-56页 |
| 4.4.3 微定位平台运动特性实验 | 第56-63页 |
| 4.5 影响微定位平台精度因素分析 | 第63-64页 |
| 4.5.1 原理误差 | 第63页 |
| 4.5.2 计算误差 | 第63页 |
| 4.5.3 安装误差 | 第63-64页 |
| 4.5.4 提高精度措施 | 第64页 |
| 4.6 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 总结和展望 | 第65-67页 |
| 5.1 总结 | 第65页 |
| 5.2 展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
