力和扩散机制下外延形貌的演化分析
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-25页 |
| 1.1 外延生长的研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 外延生长的经典理论 | 第9-18页 |
| 1.2.1 亚单层外延生长的形核与生长 | 第9-14页 |
| 1.2.2 多层岛外延生长动力学 | 第14-18页 |
| 1.3 外延生长的理论方法 | 第18-23页 |
| 1.3.1 速率方程理论 | 第18-19页 |
| 1.3.2 分子动力学方法 | 第19-20页 |
| 1.3.3 动力学蒙特卡罗法 | 第20-22页 |
| 1.3.4 相场模拟方法及其进展 | 第22-23页 |
| 1.4 外延生长中的应力/应变问题 | 第23-24页 |
| 1.5 本文的主要内容和工作 | 第24-25页 |
| 第二章 含有弹性应力场的相场模型及数值解法 | 第25-39页 |
| 2.1 经典BCF模型 | 第25-26页 |
| 2.2 含有弹性应力场的相场模型控制方程 | 第26-30页 |
| 2.3 数值解法 | 第30-35页 |
| 2.4 本文的差分方案 | 第35-37页 |
| 2.4.1 有限差分法显式格式 | 第35页 |
| 2.4.2 Neumann边界条件的处理 | 第35-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 平面上原子岛外延生长的相场模拟 | 第39-46页 |
| 3.1 多层岛的形核和生长 | 第39-42页 |
| 3.2 多层岛生长的应力变化 | 第42-43页 |
| 3.3 粗糙度的演化 | 第43-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 台阶失稳模式 | 第46-56页 |
| 4.1 台阶生长的经典理论 | 第46-47页 |
| 4.2 台阶生长相场模型 | 第47-49页 |
| 4.3 模拟结果及分析 | 第49-55页 |
| 4.3.1 沉积过程模拟 | 第49-53页 |
| 4.3.2 中断沉积退火模拟 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 本文总结 | 第56页 |
| 5.2 展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
