| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外发展动态 | 第11-13页 |
| 1.2.1 国外MEMS加速度传感器研究动态 | 第12页 |
| 1.2.2 国内MEMS加速度传感器研究动态 | 第12-13页 |
| 1.2.3 未来发展趋势 | 第13页 |
| 1.3 本论文目前主要研究内容以及章节安排 | 第13-15页 |
| 第二章 MEMS压阻式加速度传感器概述及其等效电学模型的构建与仿真 | 第15-28页 |
| 2.1 MEMS压阻式加速度传感器典型结构分析 | 第15-16页 |
| 2.2 MEMS压阻式加速度传感器工作原理 | 第16-21页 |
| 2.2.1 悬臂梁上压敏电阻的应力分析 | 第16-19页 |
| 2.2.2 惠斯通电桥输出分析 | 第19-21页 |
| 2.3 MEMS压阻式加速度传感器等效电学模型的构建与仿真 | 第21-26页 |
| 2.3.1 等效电学模型的构建 | 第21-23页 |
| 2.3.2 等效电学模型的仿真分析 | 第23-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 MEMS压阻式加速度传感器读出电路总体结构设计 | 第28-43页 |
| 3.1 读出电路结构 | 第28-32页 |
| 3.1.1 现有读出电路典型结构 | 第28-29页 |
| 3.1.2 本文设计的读出电路结构 | 第29-32页 |
| 3.2 读出电路噪声源分析 | 第32-34页 |
| 3.3 开关电容采样技术 | 第34-41页 |
| 3.3.1 采样电路的设计 | 第34-36页 |
| 3.3.2 采样电路精度分析 | 第36-39页 |
| 3.3.3 采样电路精度的提高措施 | 第39-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 读出电路关键模块的设计与分析 | 第43-60页 |
| 4.1 单位增益缓冲器的设计与分析 | 第43-48页 |
| 4.1.1 折叠式共源共栅运放 | 第44-47页 |
| 4.1.2 折叠式共源共栅运放的噪声分析 | 第47-48页 |
| 4.2 积分电路的设计与分析 | 第48-52页 |
| 4.2.1 套筒式共源共栅运放 | 第49-51页 |
| 4.2.2 积分电路的仿真分析 | 第51-52页 |
| 4.3 基准源的设计与分析 | 第52-54页 |
| 4.4 控制时序发生电路的设计与分析 | 第54-59页 |
| 4.4.1 格雷码计数器的设计 | 第55-57页 |
| 4.4.2 其他数字模块的设计 | 第57-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 读出电路与等效电学模型的协同仿真 | 第60-65页 |
| 5.1 读出电路性能仿真分析 | 第60-62页 |
| 5.2 读出电路灵敏度提高仿真分析 | 第62-64页 |
| 5.3 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第65-68页 |
| 6.1 全文总结 | 第65-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻硕期间的研究成果 | 第72-73页 |
