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UMG-Si制备过程中湿法冶金除B分子动力学模拟及实验研究

摘要第6-8页
ABSTRACT第8-9页
目录第10-12页
第一章 绪论第12-27页
    1.1 太阳能级多晶硅的生产工艺第12-18页
    1.2 湿法冶金提纯制备太阳能级硅第18-24页
    1.3 课题研究意义、内容及创新性第24-26页
    1.4 本章小结第26-27页
第二章 理论基础第27-41页
    2.1 密度泛函理论第27-29页
    2.2 能带理论第29-33页
    2.3 分子动力学第33-40页
    2.4 本章小结第40-41页
第三章 湿法冶金除B理论分析及探索性实验研究第41-60页
    3.1 硼在冶金硅中赋存状态第41-44页
    3.2 湿法除硼热力学计算第44-47页
    3.3 实验原料第47-48页
    3.4 实验试剂、设备第48-49页
    3.5 实验方法第49-51页
    3.6 实验结果与讨论第51-59页
    3.7 本章小结第59-60页
第四章 Si(110)-B与不同粒子相互作用研究第60-81页
    4.1 计算方法第60页
    4.2 计算模型第60-62页
    4.3 Si(110)-B与H~+、OH~-、O_2相互作用第62-67页
    4.4 Si(110)-B与F-、Cl-相互作用第67-70页
    4.5 Si(110)-B与NH_4~+、NO_3~-、SO_4~(2-)相互作用第70-79页
    4.6 本章小结第79-81页
第五章 湿法冶金除硼分子动力学模拟第81-89页
    5.1 B在Si(110)面上与F~-分子动力学模拟第81-85页
    5.2 B在Si(110)面上与NO_3~-分子动力学模拟第85-87页
    5.3 本章小结第87-89页
第六章 冶金硅中B与Fe、Al、Ca相互作用研究第89-104页
    6.1 计算方法第89页
    6.2 计算模型第89-91页
    6.3 计算结果第91-97页
    6.4 验证实验研究第97-102页
    6.5 本章小结第102-104页
第七章 结论与展望第104-106页
    7.1 结论第104-105页
    7.2 展望第105-106页
致谢第106-107页
参考文献第107-114页
附录第114页

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