| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-32页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 聚酰亚胺的合成 | 第11-13页 |
| 1.2.1 二酸酐与二胺合成聚酰亚胺 | 第11-12页 |
| 1.2.2 二酸二酯与二胺合成聚酰亚胺 | 第12-13页 |
| 1.2.3 双马来酰亚胺合成聚酰亚胺 | 第13页 |
| 1.3 光敏聚酰亚胺发展概述 | 第13-15页 |
| 1.4 负性光敏聚酰亚胺 | 第15-21页 |
| 1.4.1 前驱体型光敏聚酰亚胺 | 第15-17页 |
| 1.4.2 亚胺化型光敏聚酰亚胺 | 第17-21页 |
| 1.5 负性光敏聚酰亚胺性能讨论 | 第21-25页 |
| 1.5.1 图案化性能 | 第21-22页 |
| 1.5.2 固化与热稳定性能 | 第22-23页 |
| 1.5.3 电学性能 | 第23-24页 |
| 1.5.4 机械性能 | 第24页 |
| 1.5.5 粘附性能 | 第24-25页 |
| 1.6 负性光敏聚酰亚胺的应用与展望 | 第25页 |
| 1.7 本论文的研究目的与研究内容 | 第25-26页 |
| 参考文献 | 第26-32页 |
| 第二章 离子型光敏聚酰亚胺的制备与表征 | 第32-56页 |
| 2.1 引言 | 第32页 |
| 2.2 材料与表征 | 第32-36页 |
| 2.2.1 试剂与仪器 | 第32-33页 |
| 2.2.2 样品制备 | 第33-35页 |
| 2.2.3 表征方法 | 第35-36页 |
| 2.3 离子型光敏聚酰亚胺的合成 | 第36-44页 |
| 2.3.1 聚酰胺酸的合成 | 第37-44页 |
| 2.3.2 离子型光敏聚酰亚胺的合成 | 第44页 |
| 2.4 离子型光敏聚酰亚胺的表征 | 第44-52页 |
| 2.4.1 红外光谱分析 | 第44-47页 |
| 2.4.2 亚胺化留膜率分析 | 第47-49页 |
| 2.4.3 热稳定性能分析 | 第49-50页 |
| 2.4.4 力学性能分析 | 第50-51页 |
| 2.4.5 硬度分析 | 第51-52页 |
| 2.4.6 吸湿性能分析 | 第52页 |
| 2.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 第三章 离子型光敏聚酰亚胺的光敏及电学性能 | 第56-77页 |
| 3.1 引言 | 第56-57页 |
| 3.2 材料与表征 | 第57-59页 |
| 3.2.1 试剂与仪器 | 第57-58页 |
| 3.2.2 样品制备 | 第58页 |
| 3.2.3 表征方法 | 第58-59页 |
| 3.3 离子型光敏聚酰亚胺的光刻工艺与光敏性能分析 | 第59-70页 |
| 3.3.1 紫外光刻工艺控制 | 第59-63页 |
| 3.3.2 光敏性能分析 | 第63-70页 |
| 3.4 离子型光敏聚酰亚胺电学性能分析 | 第70-75页 |
| 3.4.1 介电性能分析 | 第70-72页 |
| 3.4.2 介电击穿性能分析 | 第72-75页 |
| 3.5 本章小结 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-77页 |
| 第四章 酯型光敏聚酰亚胺的制备与表征 | 第77-87页 |
| 4.1 引言 | 第77页 |
| 4.2 材料与表征 | 第77-79页 |
| 4.2.1 试剂与仪器 | 第77-78页 |
| 4.2.2 表征方法 | 第78-79页 |
| 4.3 酯型光敏聚酰亚胺的合成 | 第79-82页 |
| 4.4 酯型光敏聚酰亚胺的表征 | 第82-85页 |
| 4.4.1 红外光谱分析 | 第82-83页 |
| 4.4.2 紫外吸收光谱分析 | 第83-84页 |
| 4.4.3 热稳定性能分析 | 第84-85页 |
| 4.5 本章小结 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-87页 |
| 第五章 全文总结及工作展望 | 第87-89页 |
| 5.1 全文总结 | 第87页 |
| 5.2 工作展望 | 第87-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及研究成果 | 第90-91页 |
| 附表 | 第91页 |