| 摘要 | 第7-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 研究背景 | 第10页 |
| 1.2 微细加工技术简介 | 第10-12页 |
| 1.3 微电铸技术 | 第12-18页 |
| 1.3.1 微电铸技术的原理及特点 | 第12-13页 |
| 1.3.2 微电铸技术的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3.3 微电铸用芯模的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3.4 微电铸材料的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4 本文的研究意义与研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 应用PDMS芯模微电铸成形镍微齿轮 | 第20-30页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 实验 | 第20-23页 |
| 2.2.1 实验材料与仪器设备 | 第20-21页 |
| 2.2.2 芯模的制备 | 第21-22页 |
| 2.2.3 镍微齿轮的制备 | 第22页 |
| 2.2.4 结构与性能表征 | 第22-23页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第23-29页 |
| 2.3.1 芯模 | 第23-25页 |
| 2.3.2 芯模对镍微齿轮结构完整性的影响 | 第25-26页 |
| 2.3.3 芯模对镍微齿轮生长方式的影响 | 第26-27页 |
| 2.3.4 芯模对镍微齿轮物相组成与残余应力的影响 | 第27-29页 |
| 2.4 小结 | 第29-30页 |
| 第3章 应用Ag-PDMS芯模微电铸成形镍微流道 | 第30-41页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 实验 | 第30-33页 |
| 3.2.1 实验材料与仪器设备 | 第30-31页 |
| 3.2.2 Ag-PDMS芯模的制备 | 第31-32页 |
| 3.2.3 镍微流道的制备 | 第32页 |
| 3.2.4 结构与性能表征 | 第32-33页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第33-39页 |
| 3.3.1 Ag-PDMS芯模 | 第33-35页 |
| 3.3.2 Ag-PDMS芯模对镍微流道结构完整性的影响 | 第35-37页 |
| 3.3.3 镍微流道的生长方式 | 第37-38页 |
| 3.3.4 镍微流道的力学性能 | 第38页 |
| 3.3.5 Ag-PDMS芯模的使用寿命 | 第38-39页 |
| 3.4 小结 | 第39-41页 |
| 第4章 镍铁合金与镍铁复合材料微流道的微电铸成形 | 第41-48页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 应用Ag-PDMS芯模微电铸成形镍铁合金微流道 | 第41-44页 |
| 4.2.1 实验原料与仪器设备 | 第41-42页 |
| 4.2.2 镍铁合金微流道的制备 | 第42页 |
| 4.2.3 结构与性能表征 | 第42页 |
| 4.2.4 镍铁合金微流道的结构完整性 | 第42-43页 |
| 4.2.5 镍铁合金微流道的力学性能 | 第43-44页 |
| 4.3 应用Ag-PDMS芯模微电铸成形镍铁合金复合材料微流道 | 第44-46页 |
| 4.3.1 实验原料与仪器设备 | 第44页 |
| 4.3.2 镍铁合金复合材料微流道的制备 | 第44-45页 |
| 4.3.3 结构与性能表征 | 第45页 |
| 4.3.4 镍铁合金复合材料微流道的结构完整性 | 第45-46页 |
| 4.3.5 镍铁合金复合材料微流道的力学性能 | 第46页 |
| 4.4 小结 | 第46-48页 |
| 第5章 结论与展望 | 第48-50页 |
| 5.1 结论 | 第48-49页 |
| 5.2 展望 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第58页 |
