非平衡磁控溅射TiAIN薄膜的组织结构与性能研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 表面工程技术 | 第11-13页 |
| 1.2.1 表面工程技术的定义及分类 | 第11-12页 |
| 1.2.2 表面工程技术的意义 | 第12页 |
| 1.2.3 表面工程技术的发展趋势 | 第12-13页 |
| 1.3 薄膜技术概述 | 第13-19页 |
| 1.3.1 薄膜的种类及应用 | 第13-14页 |
| 1.3.2 薄膜的生长过程 | 第14-16页 |
| 1.3.3 薄膜的制备方法 | 第16-19页 |
| 1.4 磁控溅射技术简介 | 第19-21页 |
| 1.5 硬质薄膜的发展 | 第21-23页 |
| 1.5.1 二元硬质薄膜 | 第21-22页 |
| 1.5.2 多元复合硬质薄膜 | 第22-23页 |
| 1.5.3 多层硬质薄膜 | 第23页 |
| 1.6 TiAlN硬质薄膜的研究进展 | 第23-24页 |
| 1.7 本论文的研究目的和内容 | 第24-26页 |
| 第2章 实验设备与测试方法 | 第26-34页 |
| 2.1 磁控溅射设备 | 第26-27页 |
| 2.2 实验基体及预处理 | 第27-29页 |
| 2.3 薄膜的成分、结构和形貌表征 | 第29-31页 |
| 2.3.1 薄膜的成分测试 | 第29页 |
| 2.3.2 薄膜的相结构测试 | 第29-30页 |
| 2.3.3 薄膜的形貌测试 | 第30-31页 |
| 2.4 薄膜的力学性能表征 | 第31-32页 |
| 2.4.1 薄膜的显微硬度测试 | 第31页 |
| 2.4.2 薄膜的结合力测试 | 第31-32页 |
| 2.5 薄膜的摩擦性能表征 | 第32-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 TiAlN薄膜的制备及分析 | 第34-50页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 TiAlN硬质薄膜的制备 | 第34-37页 |
| 3.2.1 薄膜膜层的设计 | 第34-35页 |
| 3.2.2 TiAlN薄膜的制备工艺 | 第35-37页 |
| 3.3 薄膜的形貌及成分结构分析 | 第37-41页 |
| 3.3.1 TiAlN薄膜的表面与截面形貌 | 第37-39页 |
| 3.3.2 TiAlN薄膜的成分分析 | 第39-40页 |
| 3.3.3 TiAlN薄膜的相结构分析 | 第40-41页 |
| 3.4 TiAlN薄膜的力学性能 | 第41-46页 |
| 3.4.1 TiAlN薄膜的显微硬度测试 | 第41-44页 |
| 3.4.2 TiAlN薄膜的膜/基结合力分析 | 第44-46页 |
| 3.5 TiAlN薄膜的摩擦性能分析 | 第46-48页 |
| 3.5.1 材料的摩擦 | 第46页 |
| 3.5.2 试验结果与分析 | 第46-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 TiAlN薄膜的抗氧化性能研究 | 第50-57页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 试验方法 | 第50-51页 |
| 4.3 氧化温度对薄膜相结构的影响 | 第51-53页 |
| 4.4 氧化温度对薄膜表面形貌的影响 | 第53-54页 |
| 4.5 氧化温度对薄膜硬度的影响 | 第54-55页 |
| 4.6 氧化温度对薄膜摩擦系数的影响 | 第55-56页 |
| 4.7 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 TiAlN薄膜的耐腐蚀性能研究 | 第57-68页 |
| 5.1 引言 | 第57页 |
| 5.2 电化学腐蚀试验 | 第57-64页 |
| 5.2.1 电化学原理简介 | 第57-59页 |
| 5.2.2 试验装置及内容 | 第59-61页 |
| 5.2.3 试验结果与分析 | 第61-64页 |
| 5.3 浸泡腐蚀试验 | 第64-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-68页 |
| 第6章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 结论 | 第68-69页 |
| 6.2 展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第75页 |
