| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 纳米薄膜力学性能研究的背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 薄膜的制备和界面强度测量方法 | 第11-13页 |
| 1.2.1 薄膜的制备方法 | 第11-12页 |
| 1.2.2 测定薄膜界面强度的力学方法 | 第12-13页 |
| 1.3 薄膜拉伸分叉行为的国内外研究进展 | 第13-21页 |
| 1.4 本论文的工作内容 | 第21-23页 |
| 第二章 薄膜拉伸的分叉理论 | 第23-36页 |
| 2.1 金属材料在拉伸载荷下的变形理论 | 第23-25页 |
| 2.2 薄膜/基底结构拉伸变形分叉分析介绍 | 第25-31页 |
| 2.2.1 在长波扰动下均匀变形的稳定性分析 | 第26-28页 |
| 2.2.2 在各种波扰动下均匀变形的稳定性分析 | 第28-31页 |
| 2.3 裂纹密度与界面强度的关系 | 第31-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 薄膜/基底结构拉伸加载装置的研制 | 第36-56页 |
| 3.1 反向螺纹对中加载框架 | 第37-38页 |
| 3.2 柔顺铰链加载及力传感部件 | 第38-54页 |
| 3.2.1 柔顺铰链框架的设计与优化 | 第39-41页 |
| 3.2.2 力传感器设计 | 第41-42页 |
| 3.2.3 力传感器的标定 | 第42-54页 |
| 3.3 位移传感器 | 第54-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 纳米金属薄膜拉伸分叉的实验研究 | 第56-83页 |
| 4.1 试件制作 | 第56-58页 |
| 4.1.1 表面预处理 | 第57页 |
| 4.1.2 试件制备 | 第57-58页 |
| 4.2 实验方案选择 | 第58-59页 |
| 4.3 纳米铜膜的拉伸分叉实验研究 | 第59-73页 |
| 4.3.1 不同厚度纳米铜膜拉伸表面形貌 | 第60-67页 |
| 4.3.2 基底对纳米铜膜变形分叉的影响 | 第67-69页 |
| 4.3.3 纳米铜膜拉伸分叉的临界应变与膜厚的关系 | 第69-71页 |
| 4.3.4 纳米铜膜的杨氏模量与厚度的关系 | 第71-72页 |
| 4.3.5 纳米铜膜的界面强度与膜厚的关系 | 第72页 |
| 4.3.6 裂纹间距与膜厚的关系 | 第72-73页 |
| 4.4 纳米铝膜拉伸分叉实验研究 | 第73-81页 |
| 4.4.1 不同厚度纳米铝膜拉伸表面形貌 | 第74-80页 |
| 4.4.2 纳米铝膜拉伸分叉的临界应变 | 第80页 |
| 4.4.3 纳米铝膜的杨氏模量 | 第80-81页 |
| 4.4.4 纳米铝膜的界面强度 | 第81页 |
| 4.5 本章小结 | 第81-83页 |
| 第五章 薄膜拉伸分叉的有限元分析 | 第83-95页 |
| 5.1 模型建立 | 第83-85页 |
| 5.2 数值模拟结果 | 第85-91页 |
| 5.2.1 材料硬化关系匹配对分叉模式的影响 | 第85-89页 |
| 5.2.2 粘接界面刚度对变形分叉模式的影响 | 第89-90页 |
| 5.2.3 次缺陷对变形分叉模式的影响 | 第90-91页 |
| 5.3 拉伸变形分叉模拟结果分析 | 第91-93页 |
| 5.4 本章小结 | 第93-95页 |
| 第六章 总结与展望 | 第95-98页 |
| 参考文献 | 第98-107页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第107-108页 |
| 致谢 | 第108页 |