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FePt系列多层膜样品的微结构和磁特性研究

摘要第3-4页
ABSTRACT第4-5页
1 绪论第8-14页
    1.1 磁记录的发展第8-9页
    1.2 磁存储材料简介第9-12页
        1.2.1 磁记录介质第9-10页
        1.2.2 高密度磁记录对记录介质材料的要求第10-12页
    1.3 本文研究的目的第12-14页
2 薄膜的制备及测量第14-28页
    2.1 薄膜的制备第14-18页
        2.1.1 薄膜的制备方法第14-15页
        2.1.2 磁控溅射的原理第15-16页
        2.1.3 薄膜的生长过程第16页
        2.1.4 基片的选择与清洗第16-17页
        2.1.5 样品的制备第17-18页
    2.2 FePt薄膜性质表征第18-28页
        2.2.1 薄膜膜厚的测量第18-20页
        2.2.2 薄膜成分的分析第20页
        2.2.3 薄膜表面性质的观察第20-21页
        2.2.4 薄膜晶体结构的分析第21-22页
        2.2.5 薄膜磁学性能的测量第22-28页
3 FePt/X(X=C,Ta)多层膜的微结构和磁特性研究第28-56页
    3.1 FePt材料概述第28-29页
    3.2 FePt/C多层膜的微结构和磁特性第29-38页
        3.2.1 FePt/C多层膜性能与退火温度的关系第29-33页
        3.2.2 C含量对FePt/C多层膜性能的影响第33-37页
        3.2.3 小结第37-38页
    3.3 以Cr为衬底层的FePt/C多层膜样品第38-43页
        3.3.1 Cr[FePt(2.5 nm)/C(1.5 nm)]_(10)C多层膜样品的磁性能第38页
        3.3.2 以Cr为衬底层和以C为衬底层FePt样品的异同第38页
        3.3.3 小结第38-43页
    3.4 FePt/Ta多层膜的微结构和磁特性第43-56页
        3.4.1 FePt/Ta多层膜性能与基底温度的关系第43-47页
        3.4.2 Ta对FePt/Ta多层膜性能影响第47-53页
        3.4.3 FePt/Ta多层膜介质的磁化反转过程第53-54页
        3.4.4 FePt/Ta多层膜的磁畴结构第54页
        3.4.5 FePt的有序度第54-55页
        3.4.6 小结第55-56页
4 结论第56-58页
参考文献第58-64页
后记(致谢)第64页

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