钛表面微图案化及其对液滴蒸发特性的影响
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-30页 |
| 1.1. 表面润湿性理论 | 第12-16页 |
| 1.1.1. 润湿性基本理论 | 第12-14页 |
| 1.1.2. 图案化表面润湿性理论 | 第14-16页 |
| 1.2. 固着液滴蒸发研究现状 | 第16-25页 |
| 1.2.1. 固着液滴蒸发模式研究 | 第16-20页 |
| 1.2.2. 固着液滴蒸发速率研究 | 第20-25页 |
| 1.3. 紫外光刻图案化技术 | 第25-28页 |
| 1.3.1. 光刻胶技术 | 第26-27页 |
| 1.3.2. 深紫外刻蚀技术 | 第27页 |
| 1.3.3. 紫外催化刻蚀技术 | 第27-28页 |
| 1.3.4. 其它技术 | 第28页 |
| 1.4. 选题背景及研究内容 | 第28-30页 |
| 1.4.1. 选题背景 | 第28-29页 |
| 1.4.2. 研究内容 | 第29-30页 |
| 第二章 图案化润湿性表面的制备和表征 | 第30-43页 |
| 2.1. 表面制备 | 第30-34页 |
| 2.1.1. 实验原料和装置 | 第30-32页 |
| 2.1.2. 实验步骤 | 第32-34页 |
| 2.2. 表面表征和润湿性测试 | 第34-37页 |
| 2.2.1. 场发射扫描电子显微镜（FESEM） | 第34-35页 |
| 2.2.2. X射线衍射（XRD） | 第35页 |
| 2.2.3. X射线光电子能谱（XPS） | 第35-36页 |
| 2.2.4. 接触角测量 | 第36-37页 |
| 2.3. 讨论与结果 | 第37-42页 |
| 2.3.1. 表面形貌与化学组成分析 | 第37-40页 |
| 2.3.2. 液滴形貌分析 | 第40-42页 |
| 2.4. 本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 固着液滴在图案化润湿性表面蒸发模式研究 | 第43-56页 |
| 3.1. 蒸发表面图案的设计 | 第43-44页 |
| 3.2. 研究方法 | 第44-46页 |
| 3.2.1. 实验方法 | 第44-45页 |
| 3.2.2. 数据分析 | 第45-46页 |
| 3.3. 微液滴在图案化润湿性表面的蒸发行为 | 第46-52页 |
| 3.3.1. 液滴蒸发模式 | 第48-50页 |
| 3.3.2. 接触角变化趋势分析 | 第50-51页 |
| 3.3.3. 固液接触面直径变化分析 | 第51-52页 |
| 3.3.4. 液高不规律变化分析 | 第52页 |
| 3.4. 亲水区亲水性对微液滴蒸发过程的影响 | 第52-54页 |
| 3.5. 本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 图案化润湿性表面对液滴蒸发速率的影响 | 第56-74页 |
| 4.1. 蒸发表面图案的设计 | 第56-59页 |
| 4.2. 研究方法 | 第59-62页 |
| 4.2.1. 实验方法 | 第59-60页 |
| 4.2.2. 数据分析 | 第60-62页 |
| 4.3. 亲水点阵图案化表面对液滴蒸发速率的影响 | 第62-67页 |
| 4.3.1. 自然蒸发 | 第62-65页 |
| 4.3.2. 强制对流蒸发 | 第65-67页 |
| 4.4. 亲水方阵图案化表面对液滴蒸发速率的影响 | 第67-72页 |
| 4.4.1. 自然蒸发 | 第67-71页 |
| 4.4.2. 强制对流蒸发 | 第71-72页 |
| 4.5. 本章小结 | 第72-74页 |
| 总结与展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-83页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 附件 | 第85页 |
