| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 引言 | 第9-13页 |
| 1.1 ZnO材料概述 | 第9-10页 |
| 1.2 ZnCdO材料的基本性质和p型ZnCdO的研究 | 第10-13页 |
| 1.2.1 ZnCdO材料的基本性质 | 第10页 |
| 1.2.2 p型ZnCdO的研究进展 | 第10-12页 |
| 1.2.3 p型ZnCdO的研究中存在的主要问题 | 第12-13页 |
| 第二章 p型ZnCdO薄膜的制备方法及其表征手段 | 第13-18页 |
| 2.1 p型ZnCdO薄膜的制备方法 | 第13-15页 |
| 2.1.1 磁控溅射 | 第13-14页 |
| 2.1.2 热处理 | 第14-15页 |
| 2.2 p型ZnCdO薄膜的表征手段 | 第15-18页 |
| 2.2.1 霍尔效应测试(Hall-effect) | 第15页 |
| 2.2.2 X射线衍射(XRD) | 第15页 |
| 2.2.3 X射线光电子能谱(XPS) | 第15-16页 |
| 2.2.4 透射电子显微镜(TEM) | 第16页 |
| 2.2.5 紫外可见分光光度计(UV-Vis) | 第16-17页 |
| 2.2.6 光致发光谱测试(PL) | 第17-18页 |
| 第三章 Na掺p型ZnCdO薄膜的制备及其性能研究 | 第18-35页 |
| 3.1 Ar:O2流量比对ZCO:Na薄膜结构和光电性能的影响 | 第18-24页 |
| 3.1.1 引言 | 第18页 |
| 3.1.2 实验步骤 | 第18页 |
| 3.1.3 结果与讨论 | 第18-24页 |
| 3.2 退火温度和时间对Na掺ZnCdO薄膜结构和光电性能的影响 | 第24-34页 |
| 3.2.1 引言 | 第24-25页 |
| 3.2.2 实验步骤 | 第25-26页 |
| 3.2.3 结果与讨论 | 第26-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 N掺p型ZnCdO薄膜的制备及其性能研究 | 第35-44页 |
| 4.1 引言 | 第35页 |
| 4.2 实验步骤 | 第35-36页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第36-43页 |
| 4.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 Na-N共掺p型ZnCdO薄膜的制备及其性能研究 | 第44-51页 |
| 5.1 引言 | 第44页 |
| 5.2 实验步骤 | 第44-45页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第45-50页 |
| 5.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表的主要科研成果 | 第59-61页 |
| 后记 | 第61页 |
