改良西门子法精馏过程的模拟和优化及其节能工艺研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第17-39页 |
| 1.1 多晶硅生产工艺 | 第18-21页 |
| 1.1.1 改良西门子法 | 第18-19页 |
| 1.1.2 硅烷法 | 第19-20页 |
| 1.1.3 锌还原法 | 第20-21页 |
| 1.2 改良西门子法精馏过程研究现状 | 第21-26页 |
| 1.2.1 三氯氢硅合成料精馏研究现状 | 第21-25页 |
| 1.2.2 氢化料精馏和尾气回收料精馏研究现状 | 第25-26页 |
| 1.3 精馏节能方法 | 第26-30页 |
| 1.3.1 热泵精馏 | 第26-27页 |
| 1.3.2 热偶精馏 | 第27-28页 |
| 1.3.3 多效精馏 | 第28-29页 |
| 1.3.4 差压热耦合精馏技术 | 第29-30页 |
| 1.3.5 内部热集成精馏技术 | 第30页 |
| 1.4 流程模拟方法及现状 | 第30-35页 |
| 1.4.1 过程建模概述 | 第30-32页 |
| 1.4.2 平衡级精馏模型 | 第32-33页 |
| 1.4.3 流程模拟概述 | 第33-34页 |
| 1.4.4 过程仿真方法 | 第34-35页 |
| 1.5 改良西门子法精馏过程研究的不足之处 | 第35-36页 |
| 1.6 本论文的研究目的、内容和创新点 | 第36-39页 |
| 1.6.1 研究目的和内容 | 第37-38页 |
| 1.6.2 创新点 | 第38-39页 |
| 第二章 热力学方法及计算过程 | 第39-48页 |
| 2.1 热力学计算方法简介 | 第39-42页 |
| 2.1.1 状态方程 | 第39-41页 |
| 2.1.2 活度系数模型 | 第41-42页 |
| 2.2 氯硅烷体系的热力学计算 | 第42-45页 |
| 2.2.1 三氯氢硅合成料中的主要组分 | 第42-43页 |
| 2.2.2 氯硅烷体系热力学计算 | 第43-45页 |
| 2.3 精馏工艺热力学计算过程 | 第45-47页 |
| 2.3.1 两种精馏工艺路线 | 第45-46页 |
| 2.3.2 精馏工艺计算过程 | 第46-47页 |
| 2.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 合成料精馏工艺的模拟研究 | 第48-94页 |
| 3.1 模型的可靠性 | 第48-49页 |
| 3.2 脱重-脱轻合成料精馏工艺的模拟和优化 | 第49-69页 |
| 3.2.1 脱重塔的塔板数和回流比关系 | 第49-51页 |
| 3.2.2 脱重塔的进料板位置 | 第51-53页 |
| 3.2.3 脱重塔的回流比 | 第53-56页 |
| 3.2.4 脱重塔的塔顶采出率 | 第56-60页 |
| 3.2.5 脱轻塔的塔板数和回流比关系 | 第60页 |
| 3.2.6 脱轻塔的进料板位置 | 第60-61页 |
| 3.2.7 脱轻塔的回流比 | 第61-65页 |
| 3.2.8 脱轻塔的塔底采出率 | 第65-69页 |
| 3.3 脱轻-脱重合成料精馏工艺的模拟和优化 | 第69-90页 |
| 3.3.1 脱轻塔的塔板数和回流比关系 | 第69-71页 |
| 3.3.2 脱轻塔的进料板位置 | 第71-73页 |
| 3.3.3 脱轻塔的回流比 | 第73-76页 |
| 3.3.4 脱轻塔的塔底采出率 | 第76-79页 |
| 3.3.5 脱重塔的塔板数和回流比关系 | 第79页 |
| 3.3.6 脱重塔的进料板位置 | 第79-81页 |
| 3.3.7 脱重塔的回流比 | 第81-85页 |
| 3.3.8 脱重塔的塔顶采出率 | 第85-90页 |
| 3.4 两种合成料精馏工艺的能耗分析 | 第90-93页 |
| 3.5 本章小结 | 第93-94页 |
| 第四章 氢化料精馏工艺的模拟研究 | 第94-133页 |
| 4.1 脱重-脱轻氢化料精馏工艺的模拟和优化 | 第94-112页 |
| 4.1.1 脱重塔的塔板数和回流比关系 | 第94-96页 |
| 4.1.2 脱重塔的进料板位置 | 第96-97页 |
| 4.1.3 脱重塔的回流比 | 第97-100页 |
| 4.1.4 脱重塔的塔顶采出率 | 第100-103页 |
| 4.1.5 脱轻塔的塔板数和回流比关系 | 第103页 |
| 4.1.6 脱轻塔的进料板位置 | 第103-105页 |
| 4.1.7 脱轻塔的回流比 | 第105-108页 |
| 4.1.8 脱轻塔的塔底采出率 | 第108-112页 |
| 4.2 脱轻-脱重氢化料精馏工艺的模拟和优化 | 第112-128页 |
| 4.2.1 脱轻塔的塔板数和回流比关系 | 第112页 |
| 4.2.2 脱轻塔的进料板位置 | 第112-114页 |
| 4.2.3 脱轻塔的回流比 | 第114-117页 |
| 4.2.4 脱轻塔的塔底采出率 | 第117-119页 |
| 4.2.5 脱重塔的塔板数和回流比关系 | 第119-120页 |
| 4.2.6 脱重塔的进料板位置 | 第120-122页 |
| 4.2.7 脱重塔的回流比 | 第122-125页 |
| 4.2.8 脱重塔的塔顶采出率 | 第125-128页 |
| 4.3 两种氢化料精馏工艺的能耗分析 | 第128-131页 |
| 4.4 本章小结 | 第131-133页 |
| 第五章 尾气回收料精馏工艺的模拟研究 | 第133-174页 |
| 5.1 脱重-脱轻尾气回收料精馏工艺的模拟和优化 | 第134-153页 |
| 5.1.1 脱重塔的塔板数和回流比关系 | 第134-135页 |
| 5.1.2 脱重塔的进料板位置 | 第135-137页 |
| 5.1.3 脱重塔的回流比 | 第137-141页 |
| 5.1.4 脱重塔的塔顶采出率 | 第141-143页 |
| 5.1.5 脱轻塔的塔板数和回流比关系 | 第143-144页 |
| 5.1.6 脱轻塔的进料板位置 | 第144-146页 |
| 5.1.7 脱轻塔的回流比 | 第146-149页 |
| 5.1.8 脱轻塔的塔底采出率 | 第149-153页 |
| 5.2 脱轻-脱重尾气回收料精馏工艺的模拟和优化 | 第153-170页 |
| 5.2.1 脱轻塔的塔板数和回流比关系 | 第153页 |
| 5.2.2 脱轻塔的进料板位置 | 第153-155页 |
| 5.2.3 脱轻塔的回流比 | 第155-159页 |
| 5.2.4 脱轻塔的塔底采出率 | 第159-161页 |
| 5.2.5 脱重塔的塔板数和回流比关系 | 第161页 |
| 5.2.6 脱重塔的进料板位置 | 第161-163页 |
| 5.2.7 脱重塔的回流比 | 第163-167页 |
| 5.2.8 脱重塔的塔顶采出率 | 第167-170页 |
| 5.3 两种尾气回收料精馏工艺的能耗分析 | 第170-173页 |
| 5.4 本章小结 | 第173-174页 |
| 第六章 精馏节能技术研究和结果应用 | 第174-191页 |
| 6.1 热泵精馏技术研究 | 第174-178页 |
| 6.1.1 热泵精馏技术的研究发展状况 | 第174-175页 |
| 6.1.2 热泵精馏在四氯化硅二级塔上的应用研究 | 第175-178页 |
| 6.2 双塔热集成技术新工艺的模拟及节能分析 | 第178-184页 |
| 6.2.1 双塔热集成技术新工艺的模拟 | 第178-184页 |
| 6.2.2 双塔热集成技术新工艺的节能分析 | 第184页 |
| 6.3 部分研究结果的应用 | 第184-189页 |
| 6.3.1 精馏单塔优化操作方案的应用 | 第185页 |
| 6.3.2 改良西门子法精馏过程工艺的改进 | 第185-189页 |
| 6.4 本章小结 | 第189-191页 |
| 第七章 结论及展望 | 第191-194页 |
| 7.1 结论 | 第191-193页 |
| 7.2 展望 | 第193-194页 |
| 致谢 | 第194-195页 |
| 参考文献 | 第195-206页 |
| 附录A 就读博士期间撰写及发表的论文 | 第206页 |
