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氧化镍薄膜制备及其物理性质研究

摘要第2-3页
Abstract第3-4页
引言第7-8页
1 氧化镍综述第8-15页
    1.1 氧化镍的基本性质第8-9页
        1.1.1 氧化镍的晶体结构第8-9页
        1.1.2 氧化镍的光电性质第9页
        1.1.3 氧化镍的电致变色第9页
        1.1.4 氧化镍的气敏性质第9页
    1.2 氧化镍薄膜的应用第9-15页
        1.2.1 阻变存储器(RRAM)第9-12页
        1.2.2 氧化镍薄膜的电致变色第12-14页
        1.2.3 超级电容器第14页
        1.2.4 太阳能电池第14-15页
2 薄膜制备及分析方法第15-23页
    2.1 样品的制备方法第15-17页
        2.1.1 射频磁控溅射法第15-17页
    2.2 薄膜的分析方法第17-23页
        2.2.1 X射线衍射(XRD)第17-18页
        2.2.2 原子力显微镜第18-19页
        2.2.3 扫描电子显微镜第19-20页
        2.2.4 透射电子显微镜(TEM)第20-21页
        2.2.5 透射光谱第21页
        2.2.6 X射线光电子谱仪第21-22页
        2.2.7 方块电阻测量仪第22-23页
3 氧化镍薄膜的制备及表征第23-41页
    3.1 沉积气压对氧化镍薄膜结构和性能的影响第23-29页
        3.1.1 氧化镍薄膜的结构、形貌随沉积气压的变化第23-27页
        3.1.2 氧化镍薄膜光学和电学性质随沉积气压的变化第27-29页
    3.2 生长温度对氧化镍薄膜结构和性能的影响第29-34页
        3.2.1 氧化镍薄膜的结构和形貌随生长温度的变化第29-32页
        3.2.2 氧化镍薄膜光学和电学性质随生长温度的变化第32-34页
    3.3 氧化镍单晶薄膜的生长第34-38页
    3.4 金属-氧化镍异质结的电学性质第38-40页
        3.4.1 金属锇-氧化镍薄膜异质结的微观电学性质第38-39页
        3.4.2 金属Os-氧化镍-银异质结的电学特性第39-40页
    3.5 本章小结第40-41页
4 氧化镍沉积对金属银膜的反常氧化第41-51页
    4.1 实验方法第41页
    4.2 反应溅射沉积氧化镍对金属银膜的氧化行为第41-46页
        4.2.1 氧化镍沉积时间对金属银膜氧化的影响第41-44页
        4.2.2 NiO沉积在Ag膜反常氧化中的作用第44-46页
    4.3 银膜反常氧化的光催化性质第46-50页
        4.3.1 反常氧化的Ag膜的光学性质第46-47页
        4.3.2 反常氧化的Ag膜的光催化性质第47-49页
        4.3.3 氧化银光催化降解MB的物理机制第49-50页
    4.4 本章小结第50-51页
结论第51-52页
参考文献第52-56页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第56-57页
致谢第57-59页

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