| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第8-9页 |
| 1.2 表面形貌的光学测量方法概述 | 第9-12页 |
| 1.3 去包裹算法简介 | 第12-13页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 IC 晶圆精密立体视觉检测仪原理与系统设计 | 第15-27页 |
| 2.1 照明单元 | 第15-18页 |
| 2.1.1 光源与相干度的关系 | 第15-16页 |
| 2.1.2 照明单元设计原则 | 第16-17页 |
| 2.1.3 照明单元器件选择 | 第17-18页 |
| 2.2 剪切单元 | 第18-22页 |
| 2.2.1 剪切干涉原理 | 第18-19页 |
| 2.2.2 剪切元件 | 第19-22页 |
| 2.3 移相单元 | 第22-25页 |
| 2.3.1 移相方法介绍 | 第22-23页 |
| 2.3.2 移相器件选择 | 第23-25页 |
| 2.4 检测仪结构图 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 相位去包裹算法 | 第27-47页 |
| 3.1 相位去包裹的数学描述 | 第27-28页 |
| 3.2 相位去包裹分类 | 第28-38页 |
| 3.2.1 路径跟踪算法 | 第28-33页 |
| 3.2.2 路径无关算法 | 第33-37页 |
| 3.2.3 传统去包裹算法比较与评价 | 第37-38页 |
| 3.3 基于识别残差点的正余弦滤波质量导向去包裹算法 | 第38-46页 |
| 3.3.1 正余弦滤波 | 第38-39页 |
| 3.3.2 干涉图有效区域 | 第39-42页 |
| 3.3.3 生成相位导数方差图 | 第42-44页 |
| 3.3.4 按照顺序洪水填充法去包裹 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 表面形貌恢复图像处理研究 | 第47-53页 |
| 4.1 图像预处理 | 第47-48页 |
| 4.2 相位提取 | 第48-49页 |
| 4.3 表面形貌复原算法 | 第49-51页 |
| 4.3.1 形貌恢复复化积分算法 | 第49-51页 |
| 4.3.2 表面形貌修正算法 | 第51页 |
| 4.4 系统流程和 GUI 设计 | 第51-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 测试结果及误差分析 | 第53-66页 |
| 5.1 算法模拟试验结果 | 第53-55页 |
| 5.1.1 模拟相位图的生成及评价标准 | 第53-54页 |
| 5.1.2 五种去包裹算法比较结果 | 第54-55页 |
| 5.2 新算法实验测试结果 | 第55-60页 |
| 5.2.1 实验图像采集 | 第55-57页 |
| 5.2.2 实验去包裹结果比较 | 第57-60页 |
| 5.3 系统性能分析 | 第60-65页 |
| 5.3.1 分辨率 | 第61-62页 |
| 5.3.2 测量范围 | 第62-63页 |
| 5.3.3 重复测量精度 | 第63-65页 |
| 5.3.4 系统稳定性 | 第65页 |
| 5.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 致谢 | 第72页 |