| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 摩擦学基本原理 | 第10-11页 |
| 1.2.1 摩擦 | 第10页 |
| 1.2.2 磨损 | 第10-11页 |
| 1.2.3 润滑 | 第11页 |
| 1.3 TiAlN、TiAlSiN涂层 | 第11-12页 |
| 1.4 润滑相-硬质相多元复合涂层 | 第12-13页 |
| 1.5 多层复合涂层 | 第13页 |
| 1.6 涂层制备方法 | 第13-15页 |
| 1.6.1 电弧离子镀技术(AIP) | 第14页 |
| 1.6.2 磁控溅射技术(MS) | 第14-15页 |
| 1.7 课题研究意义及研究内容 | 第15-16页 |
| 1.7.1 本课题研究意义 | 第15页 |
| 1.7.2 研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 实验方法 | 第16-22页 |
| 2.1 实验材料 | 第16页 |
| 2.2 镀膜设备 | 第16-17页 |
| 2.3 涂层制备方法 | 第17-19页 |
| 2.3.1 操作方法 | 第17-18页 |
| 2.3.2 TiC涂层沉积工艺参数 | 第18页 |
| 2.3.3 TiAlN、TiAlSiN涂层沉积工艺参数 | 第18-19页 |
| 2.3.4 TiAlN-Ag涂层沉积工艺参数 | 第19页 |
| 2.3.5 TiC/TiAlN-Ag、TiC/TiAlN-Ag/TiAlSiN多层膜沉积工艺参数 | 第19页 |
| 2.4 涂层的表征方法 | 第19-22页 |
| 2.4.1 表面形貌及成分分析 | 第19页 |
| 2.4.2 涂层物相分析 | 第19-20页 |
| 2.4.3 涂层内部元素的键能分析 | 第20页 |
| 2.4.4 涂层硬度的测量 | 第20页 |
| 2.4.5 涂层摩擦学性能测试 | 第20-22页 |
| 第3章 Ti-C工艺参数的确定及RT-400oC内的摩擦学性能 | 第22-33页 |
| 3.1 引言 | 第22页 |
| 3.2 CH4流量对涂层微观结构及摩擦学性能的影响 | 第22-28页 |
| 3.2.1 涂层表面与截面形貌 | 第22-23页 |
| 3.2.2 涂层物相分析 | 第23-24页 |
| 3.2.3 XPS分析 | 第24-25页 |
| 3.2.4 涂层的硬度及摩擦学性能 | 第25-28页 |
| 3.3 基体负偏压对涂层形貌和摩擦学性能的影响 | 第28-30页 |
| 3.3.1 不同偏压下制备的涂层表面形貌 | 第28-29页 |
| 3.3.2 偏压对TiC涂层摩擦学性能的影响 | 第29-30页 |
| 3.4 TiC涂层在RT-400oC内恒温及变温环境中的摩擦学性能 | 第30-31页 |
| 3.5 本章小节 | 第31-33页 |
| 第4章 Ag、Si对TiAlN涂层高温及变温摩擦学性能的影响 | 第33-52页 |
| 4.1 引言 | 第33页 |
| 4.2 实验结果 | 第33-50页 |
| 4.2.1 涂层成分 | 第33-34页 |
| 4.2.2 涂层表面与截面形貌 | 第34-35页 |
| 4.2.3 涂层物相分析 | 第35页 |
| 4.2.4 涂层的硬度 | 第35-36页 |
| 4.2.5 TiAlN涂层在高温及变温条件下的摩擦学性能 | 第36-41页 |
| 4.2.6 TiAlSiN涂层在高温及变温条件下的摩擦学性能 | 第41-45页 |
| 4.2.7 TiAlN-Ag涂层在高温及变温条件下的摩擦学性能 | 第45-50页 |
| 4.3 本章小节 | 第50-52页 |
| 第5章 多层复合膜的高温及变温摩擦学性能 | 第52-65页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 实验结果 | 第52-64页 |
| 5.2.1 涂层成分 | 第52页 |
| 5.2.2 涂层表面与截面形貌 | 第52-53页 |
| 5.2.3 涂层物相分析 | 第53-54页 |
| 5.2.4 涂层的硬度 | 第54-55页 |
| 5.2.5 TiC/TiAlN-Ag多层膜在高温及变温条件下的摩擦学性能 | 第55-59页 |
| 5.2.6 TiC/TiAlN-Ag/TiAlSiN多层膜在高温及变温条件下的摩擦学性能 | 第59-64页 |
| 5.3 本章小节 | 第64-65页 |
| 第6章 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
