新工艺BST薄膜微波调谐特性研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
第一章 绪论	第9-18页
·引言	第9-10页
·BST 薄膜的结构与主要性质	第10-14页
·铁电材料的发展	第10-11页
·BST 的结构与性质	第11-14页
·BST 薄膜应用	第14-16页
·研究背景和意义	第16-18页
第二章 BST 薄膜的制备与测试	第18-25页
·主要制备方法	第18-20页
·Sol-Gel 法制备BST 薄膜	第20-25页
·衬底的选择和清洗	第20-21页
·BST 溶胶制备	第21-22页
·BST 薄膜制备	第22-23页
·BST 薄膜表征与测试	第23-25页
第三章 预热处理薄膜生长机制	第25-45页
·结构设计	第25-26页
·薄膜生长过程中预热处理的影响	第26-38页
·四种预热处理工艺薄膜形貌	第38-42页
·预热处理对薄膜内应力影响分析	第42-44页
·本章小结	第44-45页
第四章 预热处理薄膜介电性能	第45-58页
·四种预热处理工艺下薄膜的介电性能	第45-51页
·调谐率	第45-50页
·介电损耗	第50-51页
·优值因子	第51页
·退火温度的研究	第51-57页
·热处理方式(Ⅱ)的研究	第52-56页
·表面分析	第52-54页
·介电性能	第54-56页
·热处理方式(Ⅲ)的研究	第56-57页
·本章小结	第57-58页
第五章 主要结论	第58-59页
致谢	第59-60页
参考文献	第60-64页
攻读硕士期间取得的研究成果	第64-65页